[实用新型]一种多晶硅生产中回收冷凝的装置

说明书

本实用新型属于多晶硅生产领域，尤其是一种多晶硅生产中回收冷凝的装置，针对现有的冷凝时颗粒沉积而堵塞管线的问题，现提出如下方案，其包括尾气出口和冷凝装置，所述冷凝装置包括第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和第四冷凝器，尾气出口分别连接有第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和第四冷凝器的入口，第一冷凝器和第二冷凝器的出口连接有第一储罐，第三冷凝器和第四冷凝器的出口连接有第二储罐，第一储罐的出口连接有第一回收塔，第二储罐的出口连接有第二回收塔。本实用新型结构简单，设计新颖，有效的将冷凝中沉积的固体颗粒过滤处理，防止其堵塞管线，保证了尾气的冷凝效果，值得推广。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，尤其涉及一种多晶硅生产中回收冷凝的装置。

背景技术

生产多晶硅是一个提纯过程，主要原料是三氯氢硅，再用氢气进行一次高温还原，这个过程中约有25％的三氯氢硅转化为多晶硅，剩余大量气体进入尾气排放。在这个过程中，如果不能对其产生的尾气进行回收，排出的三氯氢硅、四氯氢硅、氯化氢、氢气等有害物质不但会对操作人员的身体造成严重伤害，而且还会污染环境。

尾气进入尾气回收冷凝系统，利用低温介质换热降温将多晶硅生产中的尾气中的氯硅烷冷凝成液体，从而达到氢气、氯化氢与氯硅烷分离的目的，在此过程中尾气中的固体颗粒也沉积下来，造成多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统的冷凝设备以及管线堵塞，降低尾气冷凝效果。

实用新型内容

本实用新型提出的一种多晶硅生产中回收冷凝的装置，解决了现有的冷凝时颗粒沉积而堵塞管线的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种多晶硅生产中回收冷凝的装置，包括尾气出口和冷凝装置，所述冷凝装置包括第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和第四冷凝器，尾气出口分别连接有第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和第四冷凝器的入口，第一冷凝器和第二冷凝器的出口连接有第一储罐，第三冷凝器和第四冷凝器的出口连接有第二储罐，第一储罐的出口连接有第一回收塔，第二储罐的出口连接有第二回收塔，第一储罐和第二储罐之间固定有安装板，安装板上表面焊接有支架，支架上安装有双轴电机，第一储罐和第二储罐结构相同且对称设置，第一储罐内设置有出液斗和滤网，且滤网位于出液斗的上方，第一储罐的一侧内壁上转动安装有丝杆，丝杆上螺纹连接有移动块，移动块的下表面安装有刮板，丝杆的一端贯穿第一储罐的侧壁连接在双轴电机的输出轴上，安装板的上表面对称设置有集料箱。

优选的，所述支架包括支撑杆和支撑板，支撑杆的顶端焊接在支撑板的下表面，支撑杆的底端焊接在安装板上，且支撑杆与支撑板相互垂直。

优选的，所述第一储罐和第二储罐相靠近的侧壁上均设置有出料口，且出料口位于集料箱的上方。

优选的，所述滤网的横截面积和第一储罐的横截面积相同，且刮板的长度和滤网的宽度相同。

优选的，所述集料箱为顶部设置有敞口的长方体结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

在对多晶硅生产的尾气进行回收时，先通过冷凝装置进行冷凝，对各个冷凝器中的尾气采取不同的冷凝温度进行单独冷凝，便于优化各个冷凝器的参数达到最佳冷凝效果，第一储罐和第二储罐实现了对冷凝器回收的氯硅烷进行分类和处理，然后将沉积下的颗粒在第一储罐和第二储罐中处理，防止对管线造成堵塞，保证了冷凝效果，最终通过第一回收塔和第二回收塔将氯硅烷回收，提高了原料利用率，有效的节省了生产成本。

本实用新型结构简单，设计新颖，有效的将冷凝中沉积的固体颗粒过滤处理，防止其堵塞管线，保证了尾气的冷凝效果，值得推广。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种多晶硅生产中回收冷凝的装置的结构示意图。