[实用新型]双室化学气相沉积炉炉口内外室密封/隔绝系统

说明书

本实用新型公开了一种双室化学气相沉积炉炉口内外室密封/隔绝系统，包括中空圆柱状的C/C罐，C/C罐的上端设有T形的炉盖，C/C罐的外壁从上至下分别依次同轴套接有水冷套和炉壳，水冷套恰好被卡在炉盖上端面与C/C罐的罐口之间，且水冷套与C/C罐之间填充有密封结构。本实用新型对内外室抽真空不受影响，能够确保内室中的污染气体不会逸入外室。

技术领域

本实用新型属于真空热处理炭材料技术领域，涉及一种双室化学气相沉积炉炉口内外室密封/隔绝系统。

背景技术

双室化学气相沉积炉的双室由加热室(简称外室)与沉积室(简称内室)组成。

化学气相沉积工艺过程中，内室中通大量的有机气体(丙烯、丙烷或天然气)，这有机物热解和气化会产生的大分子芳香族碳氢有机污染物,含有焦油、炭墨灰尘和其它一些杂质。双室化学气相沉积炉炉内罐为石墨或C/C材料，内外室之间密封做不到完全隔绝，这样部分的污染气体就会逸入外室中，污染了加热器与炉衬保温材料，造成加热器烧损或短路，炉衬保温材料的保温性能急剧下降，整个炉子的热场会发生很大的变化，炉温均匀性变差，造成很大的能耗损失，影响工艺的正常进行，甚至导致加热器与炉衬报废。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种双室化学气相沉积炉炉口内外室密封/隔绝系统，该系统对内外室抽真空不受影响，能够确保内室中的污染气体不会逸入外室。

本实用新型所采用的技术方案是，一种双室化学气相沉积炉炉口内外室密封/隔绝系统，包括中空圆柱状的C/C罐，C/C罐的上端设有T形的炉盖，C/C罐的外壁从上至下分别依次同轴套接有水冷套和炉壳，水冷套恰好被卡在炉盖上端面与C/C罐的罐口之间，且水冷套与C/C罐之间填充有密封结构。

本实用新型的特点还在于，

密封结构为环形的陶瓷纤维圆编绳，陶瓷纤维圆编绳同轴套接在C/C罐的外壁上。

陶瓷纤维圆编绳将双室化学沉积炉的内室和外室之间的空隙进行密封，防止内室的污染气体逸入外室中。

本实用新型的有益效果是，本实用新型为设置在内外室之间的双室化学气相沉积炉内外室密封/隔绝系统，避免了内室的污染气体逸入外室中、影响加热器与炉衬保温材料、炉温均匀性变差、造成很大的能耗损失、影响工艺的正常进行，甚至导致加热器与炉衬报废。与未装此系统之前比较，可使加热器与炉衬使用寿命延长10倍以上，节能降耗约30-50％，大大降低了设备维护成本，提高了工艺参数的控制精度。

附图说明

图1是本实用新型一种双室化学气相沉积炉炉口内外室密封/隔绝系统的结构示意图；

图2是本实用新型一种双室化学气相沉积炉炉口内外室密封/隔绝系统中水冷套与C/C罐之间密封结构的局部放大图。

图中，1.炉盖，2.水冷套，3.陶瓷纤维圆编绳，4.C/C罐，5.炉壳，6.外室，7.内室。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本实用新型进行详细描述。

本实用新型一种双室化学气相沉积炉炉口内外室密封/隔绝系统，结构如图1、2所示，包括中空圆柱状的C/C罐4(C/C罐4为由炭/炭复合材料制作的炉内罐)，C/C罐4的上端设有T形的炉盖1，C/C罐4的外壁从上至下分别依次同轴套接有中空圆柱状的水冷套2和中空圆柱状的炉壳5，水冷套2恰好被卡在炉盖1上端面与C/C罐4的罐口之间，且水冷套2与C/C罐4之间填充有密封结构。

密封结构为环形的陶瓷纤维圆编绳3，陶瓷纤维圆编绳3同轴套接在C/C罐4的外壁上。

C/C罐4的内部为内室7，C/C罐4的外部为外室6。

实施例1