[实用新型]太阳能电池片生产用扩散尾排集酸系统

说明书

本实用新型涉及太阳能电池片技术领域，尤其是涉及一种太阳能电池片生产用扩散尾排集酸系统，包括石英炉管，所述石英炉管上设置有尾管，还包括依次设置在尾管上的保温区、冷却区和真空区，所述保温区包括隔热棉和冲洗管，所述隔热棉包裹在尾管上，本实用新型太阳能电池片生产用扩散尾排集酸系统在使用时，通过增保温区的保温材料包裹，可以保证气体在出尾管这一段保持适当的高温，使得偏磷酸蒸汽不会冷凝液化，通过保温区的冲洗管带有适量水汽的氮气通到尾管中，并对尾管起到清洁作用，通过冷凝区的风扇，对出来的气体进行降温，使偏磷酸液化至瓶内，利用偏磷酸的融水特性，冷凝区的冷凝瓶中的水对偏磷酸有吸收作用。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池片技术领域，尤其是涉及一种太阳能电池片生产用扩散尾排集酸系统。

背景技术

目前在生产太阳能电池片的扩散工序中所使用的反应炉大多为石英炉管，整个工艺过程中均为炉口进气，通过真空泵对石英炉管进行抽气，同时引导气体在炉体内均匀从炉口通向炉尾，直至通过尾排抽出；目前炉管反应过程中形成的一种产物五氧化二磷，富余的五氧化二磷会随着其他气体一起被抽出，磷极易溶于炉管内的少量水生成偏磷酸，偏磷酸为粘稠性物质，该气体排除高温的炉管外时，由于炉管内外温差较大，高温偏磷酸气体易遇冷液化附在出气管的管道内壁，日积月累容易堵塞炉管，再者偏磷酸具有的腐蚀性容易腐蚀石英玻璃，使得出气管路破损，同时气体遭遇的堵塞、漏气均会导致工艺中的压力异常，带来返工困扰，尾管处存在积酸时，清理需将炉管整体降温取出，再进行清洗，操作繁琐，过量的酸沉积也会导致真空泵的隔膜腐蚀损坏，造成损失。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为了解决富余的五氧化二磷会随着其他气体一起被抽出，磷极易溶于炉管内的少量水生成偏磷酸，偏磷酸为粘稠性物质，该气体排除高温的炉管外时，由于炉管内外温差较大，高温偏磷酸气体易遇冷液化附在出气管的管道内壁，日积月累容易堵塞炉管，再者偏磷酸具有的腐蚀性容易腐蚀石英玻璃，使得出气管路破损，同时气体遭遇的堵塞、漏气均会导致工艺中的压力异常，带来返工困扰，尾管处存在积酸时，清理需将炉管整体降温取出，再进行清洗，操作繁琐，过量的酸沉积也会导致真空泵的隔膜腐蚀损坏，造成损失的问题，现提供了一种太阳能电池片生产用扩散尾排集酸系统。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种太阳能电池片生产用扩散尾排集酸系统，包括石英炉管，所述石英炉管上设置有尾管，还包括依次设置在尾管上的保温区、冷却区和真空区，所述保温区包括隔热棉和冲洗管，所述隔热棉包裹在尾管上，所述冲洗管的一端穿过隔热棉与尾管连通，所述冲洗管的另一端与水槽连通，所述冷区却包括冷却瓶和风扇，所述冷却瓶的内腔中设置有隔板，所述隔板将内腔分隔成两个相互隔开的上腔体和下腔体，所述隔板上设置有将上腔体和下腔体连通的通孔，所述上腔体内设置有塑料粒子，所述风扇设置在上腔体内，所述下腔体内设置有水，所述尾管和下腔体之间设置有相互连通的外接管路，所述真空区包括真空泵，所述真空泵的输入端连通外接管路与上腔体连通。通过水槽对尾管具有清洗作用，将五氧化二磷转化为偏磷酸，通过增加保温材料，防止尾管处温差导致的偏磷酸液化，在易于积液的区域的冷却，外加积液瓶内的水分，将五氧化二磷与酸液化沉积下来，达到搜集酸的效果。

进一步地，所述真空区还包括过滤器，所述过滤器设置在上腔体与真空泵之间的外接管路上。通过在空泵区的滤芯器，最后一道防护过滤气体中的酸残留，可有效阻隔偏磷酸腐蚀真空泵。