[实用新型]超静音气浮轴承

权利要求书

1.一种超静音气浮轴承，包括定子和转子，转子设置在定子内，转子套设有外托盘，其特征在于：所述转子上至少设置有两个凹环，其中第一凹环相对应的定子的内壁上设置有进气口，定子内嵌设有气体通道，气体通道与进气口连通，定子与转子及定子与托盘之间围成的间隙形成高压气膜层，在定子上设置有排气阀，转子上的第二凹环与排气阀相对应。

2.根据权利要求1所述的超静音气浮轴承，其特征在于：在托盘轴内嵌设有轴内真空气道，在定子内嵌设有真空通道，真空通道与轴内真空气道相对应。

3.根据权利要求2所述的超静音气浮轴承，其特征在于：所述真空通道对应的转子上设置有第三凹环，第三凹环与定子上的真空通道相对应，所述转子上的第一凹环、第二凹环、第三凹环之间均有间隙。

4.根据权利要求3所述的超静音气浮轴承，其特征在于：所述第一凹环与第二凹环之间的间隙L1大于第二凹环与第三凹环之间的间隙L2。

5.根据权利要求3所述的超静音气浮轴承，其特征在于：所述第一凹环宽度a1大于第二凹环的宽度a2，第一凹环宽度a1大于第三凹环的宽度a3。

6.根据权利要求3所述的超静音气浮轴承，其特征在于：在转子内壁上还设置有第四凹环。

7.根据权利要求6所述的超静音气浮轴承，其特征在于：与第四凹环对应的定子上设置有凹痕，凹环靠近托盘设置。

8.根据权利要求1所述的超静音气浮轴承，其特征在于：进气口所处的定子内壁上设置有凹槽。

9.根据权利要求8所述的超静音气浮轴承，其特征在于：凹槽的宽度与凹环的宽度相对应。

10.根据权利要求1所述的超静音气浮轴承，其特征在于：所述托盘与转子一体设置或者托盘与转子分体过盈配合。