[实用新型]一种复合型纳米马达及其制备装置

权利要求书

1.一种复合型纳米马达，其特征在于，由数个纳米球体按对称结构形状粘连在一起所组成，部分球体表面蒸镀有磁性金属层，球体之间通过分子膜进行粘结。

2.根据权利要求1所述的复合型纳米马达，其特征在于，所述对称结构形状为圆环形、U形或长链形，大小为1～100μm。

3.根据权利要求1所述的复合型纳米马达，其特征在于，所述的纳米球体为PS球、SiO₂颗粒或磁性金属颗粒，所述的分子膜为SiO₂或SiN_x。

4.根据权利要求1或3所述的复合型纳米马达，其特征在于，所述的纳米球体尺寸为500nm～30μm；所述分子膜厚度为100nm。

5.一种复合型纳米马达制备装置，其特征在于，包括：信号发生器(1)、功率放大器(2)，显微镜(3)、计算机(4)、超声操控平台(5)；信号发生器(1)的输出端与功率放大器(2)的输入端相连，功率放大器(2)的输出端与超声操控平台(5)连接，超声操控平台(5)位于显微镜(3)的样品台上，显微镜(3)与计算机(4)连接。

6.根据权利要求5所述的复合型纳米马达制备装置，其特征在于，超声操控平台(5)包括驱动板(6)、换能器(7)、微尺度阵列结构(8)；驱动板(6)与功率放大器(2)的输出端连接，换能器(7)安装于驱动板(6)的一端的表面，微尺度阵列结构(8)均匀安装于驱动板(6)的表面。

7.根据权利要求6所述的复合型纳米马达制备装置，其特征在于，驱动板(6)厚度为1mm，换能器(7)厚度为0.5mm，微尺度阵列结构(8)厚度为1～20μm。

8.根据权利要求6或7所述的复合型纳米马达制备装置，其特征在于，驱动板(6)为硅基板或者玻璃板，微尺度阵列结构(8)为圆形、方形、V形、直线形或螺旋形或上述形式叠加而成的新型结构形式。

9.根据权利要求8所述的复合型纳米马达制备装置，其特征在于，单个微尺度结构的线宽为5～50μm。

10.根据权利要求5所述的复合型纳米马达制备装置，其特征在于，信号发生器(1)为能产生50～1000KHZ正弦波、方波、三角波的信号发生器，功率放大器(2)为高频功率放大器，超声场频率为50～500KHZ。