[实用新型]一种纳米真空镀膜用除尘装置

说明书

本实用新型公开了一种纳米真空镀膜用除尘装置，包括纳米真空镀膜机，纳米真空镀膜机的顶部固定连接有除尘镀膜槽，除尘镀膜槽左侧内壁的中间位置固定连接有固定罩框，固定罩框内部且靠近右侧的位置固定连接有排风扇，固定罩框内部且位于排风扇的左侧固定连接有除尘吸附网，除尘镀膜槽内部底端的中间位置固定连接有载物架，除尘镀膜槽的右侧内壁固定连接有支撑连杆，支撑连杆的左侧通过内移动滑块滑动连接有内限制滑槽，内限制滑槽的外侧固定连接有活动罩框，活动罩框外部的右侧固定连接有高压气泵，本实用新型涉及纳米真空镀膜技术领域。该一种纳米真空镀膜用除尘装置，达到了便于工人操作，减少工作流程，提高镀件的除尘效果的目的。

技术领域

本实用新型涉及纳米真空镀膜技术领域，具体为一种纳米真空镀膜用除尘装置。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

目前纳米真空镀膜前需要对镀件单独除尘，然后再将镀件放入机舱内，从而增加了操作流程，也对工人造成不便，并且人工对镀件实现充分除尘，除尘效果差。

实用新型内容

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种纳米真空镀膜用除尘装置，解决了目前纳米真空镀膜前需要对镀件单独除尘，然后再将镀件放入机舱内，从而增加了操作流程，也对工人造成不便，并且人工对镀件实现充分除尘，除尘效果差的问题。

（二）技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种纳米真空镀膜用除尘装置，包括纳米真空镀膜机，所述纳米真空镀膜机的顶部固定连接有除尘镀膜槽，所述除尘镀膜槽左侧内壁的中间位置固定连接有固定罩框，所述固定罩框内部且靠近右侧的位置固定连接有排风扇，所述固定罩框内部且位于排风扇的左侧固定连接有除尘吸附网，所述除尘镀膜槽内部底端的中间位置固定连接有载物架，所述除尘镀膜槽的右侧内壁固定连接有支撑连杆，所述支撑连杆的左侧通过内移动滑块滑动连接有内限制滑槽，所述内限制滑槽的外侧固定连接有活动罩框，所述活动罩框外部的右侧固定连接有高压气泵，所述活动罩框内部的顶端和右侧固定连接有除尘喷管，所述除尘喷管的输入端与高压气泵连通，所述除尘镀膜槽的顶部转动连接有挡门板。

优选的，所述挡门板的右侧固定连接有安装挂钩，所述除尘镀膜槽外部右侧且靠近上方的位置转动连接有活动卡槽，所述活动卡槽与安装挂钩卡接。

优选的，所述载物架的左右两侧均贯穿且滑动连接有传动夹杆，所述传动夹杆靠近载物架内侧的表面套设有挤压弹簧。

优选的，所述固定罩框的左侧连通有除尘通风管，所述固定罩框的右侧固定连接有密封插槽。

优选的，所述除尘镀膜槽内部底端的右侧转动连接有传动齿轮，所述活动罩框底部表面固定连接有直齿条，所述传动齿轮与直齿条啮合连接。

优选的，所述除尘镀膜槽内部底端且位于传动齿轮的右侧固定连接有电动机，所述电动机的输出轴上固定连接有主动转轮，所述传动齿轮的轴心处固定连接有从动转轮，所述主动转轮通过皮带与从动转轮传动连接。

（三）有益效果

本实用新型提供了一种纳米真空镀膜用除尘装置。具备以下有益效果：