[实用新型]阴极狭缝遮挡装置有效
| 申请号： | 201920506762.7 | 申请日： | 2019-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN210001928U | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 宋永明 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 11002 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 苗青盛;魏雪梅 |
| 地址： | 102209 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 挡板 阴极狭缝 驱动装置 遮挡装置 本实用新型 限位装置 导轨 滑块 设备技术领域 滑动连接 平行设置 相向运动 有效控制 均匀性 膜层 驱动 | ||
1.一种阴极狭缝遮挡装置，其特征在于：包括两个挡板(3)、限位装置、以及驱动两个所述挡板(3)进行相对或相向运动的驱动装置；所述限位装置包括两个平行设置的导轨(4)，每个所述挡板(3)分别设有两个滑块(5)，两个所述滑块(5)分别与两个所述导轨(4)对应滑动连接；每个所述挡板(3)分别连接两个所述驱动装置，两个所述驱动装置对应设置于所述挡板(3)两端。
2.根据权利要求1所述的阴极狭缝遮挡装置，其特征在于：每个所述驱动装置均包括驱动机构、与所述驱动机构连接的传动机构、以及与所述传动机构连接的齿轮(6)，每个所述挡板(3)分别设有两个齿条(7)，两个所述齿条(7)分别与两个所述齿轮(6)对应啮合连接。
3.根据权利要求2所述的阴极狭缝遮挡装置，其特征在于：所述驱动机构包括驱动电机(9)以及与所述驱动电机(9)连接的减速器(10)。
4.根据权利要求3所述的阴极狭缝遮挡装置，其特征在于：所述传动机构包括依次连接的减速器联轴器(11)、磁流体(12)和齿轮联轴器(13)，所述减速器联轴器(11)与所述减速器(10)相连，所述齿轮联轴器(13)与所述齿轮(6)相连。
5.根据权利要求4所述的阴极狭缝遮挡装置，其特征在于：两个所述挡板(3)和所述限位装置均设置于腔体(1)内部，所述驱动机构设置于所述腔体(1)外部。
6.根据权利要求5所述的阴极狭缝遮挡装置，其特征在于：所述腔体(1)设有磁流体安装孔，所述磁流体(12)安装于所述磁流体安装孔中；在所述磁流体(12)与所述磁流体安装孔之间设有密封件(15)。
7.根据权利要求5所述的阴极狭缝遮挡装置，其特征在于：两个所述挡板(3)设置于阴极(2)上方，所述阴极(2)安装于所述腔体(1)的底板上表面，两个所述导轨(4)对应设置于所述阴极(2)两端；所述腔体(1)的底板设有阴极安装孔，在所述腔体(1)的底板的下表面对应所述阴极安装孔的位置处安装有封板(14)。
8.根据权利要求7所述的阴极狭缝遮挡装置，其特征在于：所述导轨(4)安装于导轨安装块(17)上，所述导轨安装块(17)安装于所述腔体(1)的底板上表面。
9.根据权利要求7所述的阴极狭缝遮挡装置，其特征在于：所述齿轮(6)的齿轮轴安装于轴承(18)中，所述轴承(18)安装于轴承安装块(19)上，所述轴承安装块(19)安装于所述腔体(1)的底板上表面。
10.根据权利要求2所述的阴极狭缝遮挡装置，其特征在于：所述滑块(5)与所述挡板(3)的底面连接固定，所述齿条(7)与所述挡板(3)的侧面连接固定。
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