[实用新型]一种新型直拉硅单晶炉底部加热器

权利要求书

1.一种新型直拉硅单晶炉底部加热器，其特征在于，包括两组对位设置的第一加热部和第二加热部，所述第一加热部与所述第二加热部串联连接且轴对称设置；所述第一加热部包括串联连接的U型体和分设在所述U型体两侧的W型体，所述W型体位于所述第一加热部外缘处，所述U型体与所述W型体共同形成一体式结构；所述第二加热部包括两组串联对称设置阶梯状弯曲体，所述弯曲体横向宽度从靠近所述第一加热部一端到远离所述第一加热部一端递增；两组所述第一加热部与所述第二加热部内缘共同形成一内切椭圆形空隙；所述U型体、所述W型体和所述弯曲体均为条状加热体，厚度相同；所述加热器中心加热体面积小于所述加热器边缘加热体面积。

2.根据权利要求1所述的一种新型直拉硅单晶炉底部加热器，其特征在于，所述第一加热部拐角为第一圆弧；所述第二加热部拐角为第二圆弧。

3.根据权利要求2所述的一种新型直拉硅单晶炉底部加热器，其特征在于，所述第一圆弧与所述第二圆弧直径相同。

4.根据权利要求3所述的一种新型直拉硅单晶炉底部加热器，其特征在于，所述第一加热部与所述第二加热部连接处拐角为第三圆弧，所述第三圆弧直径大于所述第一圆弧直径。

5.根据权利要求1-4任一项所述的一种新型直拉硅单晶炉底部加热器，其特征在于，还包括电极加热部，所述电极加热部包括支撑体和电极，所述电极固定设置在所述支撑体上方。

6.根据权利要求5所述的一种新型直拉硅单晶炉底部加热器，其特征在于，所述电极加热部与所述第二加热部一体连接，所述电极加热部位于所述第二加热部外端对称轴上。

7.根据权利要求6所述的一种新型直拉硅单晶炉底部加热器，其特征在于，所述支撑体为三角形结构，所述电极设置在所述支撑体轴线顶角处。

8.根据权利要求7所述的一种新型直拉硅单晶炉底部加热器，其特征在于，两组所述第一加热部外缘弧和所述电极加热部外缘弧共同形成一外圆形空隙，所述第一加热部所有外缘弧和所述电极加热部外缘弧均与所述外圆形内切连接。

9.根据权利要求8所述的一种新型直拉硅单晶炉底部加热器，其特征在于，所述外圆形空隙与所述内切椭圆形空隙中心点重合。