[实用新型]一种涂布机刮片装置及涂布机有效
申请号: | 201920521247.6 | 申请日: | 2019-04-17 |
公开(公告)号: | CN209471336U | 公开(公告)日: | 2019-10-08 |
发明(设计)人: | 汪杰 | 申请(专利权)人: | 东旭(昆山)显示材料有限公司;东旭光电科技股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16 |
代理公司: | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人: | 张涛 |
地址: | 215333 江苏省昆*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 涂布机 固定底座 刮片装置 导轨 驱动机构 刮片 本实用新型 涂布喷嘴 基台 刀头内壁 导轨安装 化学药液 线性缝隙 匀速移动 喷嘴 光刻胶 可移动 刀头 地刮 伸入 自动化 安全 | ||
本实用新型涉及一种涂布机刮片装置及涂布机,刮片装置包括刮片、固定底座、驱动机构和导轨,刮片固定在固定底座上,驱动机构带动所述固定底座在所述导轨上匀速位移。涂布机包括涂布基台、涂布喷嘴和上述的涂布机刮片装置,其中,所述导轨安装在所述涂布基台的一端,所述涂布喷嘴可移动至所述导轨的正上方。本实用新型通过驱动机构带动固定底座在导轨内匀速移动,从而使得刮片可以在同一伸入深度的情况下,匀速地刮拭刀头的线性缝隙,确保了涂布机喷嘴刀头内壁的安全,同时自动化的刮拭操作,可以有效提高刮拭效率,避免了人工刮拭时,工作人员不得不接触光刻胶等化学药液,所带来的工作危害,提升了作业的安全性。
技术领域
本实用新型涉及TFT-LCD彩膜工艺设备技术领域,并且更具体地,涉及到一种涂布机刮片装置及涂布机。
背景技术
TFT-LCD彩膜工艺设备中,光刻胶涂布是光刻工艺中的重要工序。目前光刻胶涂布工序通常采用涂布机实现,常见的涂布机具有线性喷嘴,线性喷嘴上设置有供光刻胶流出的缝隙,通过线性喷嘴与基板之间的相对运动,将由缝隙流出的光刻胶涂布于基板上,以在基板上形成光刻胶层。
由于涂布机刀头内光阻容易结晶的特性,在光刻胶涂布中,光刻胶容易发生结晶而堵塞刀头,造成涂布不良,现有技术中,为了解决这一问题,在涂布机复机开始涂布作业之前,或者在发生涂布不良时,会用50-80um厚度的金属薄片刮拭几次刀头,确保刀头通畅,但由于人工刮拭刀头时深度控制不好,或者力度大小因人不同,经常会刮伤刀头内壁。
基于此,现有技术仍然有待改进。
实用新型内容
本实用新型针对上述问题,目的在于提供一种涂布机刮片装置及涂布机,其能解决现有技术的人工刮拭难度大,容易损伤刀头内壁的技术问题。
为达到上述目的,本实用新型采用如下技术方案:
一方面,本实用新型的实施例公开了一种涂布机刮片装置,包括刮片、固定底座、驱动机构和导轨,其中,
所述刮片固定在所述固定底座上,所述驱动机构带动所述固定底座在所述导轨上匀速位移。
进一步地,所述驱动机构包括安置在所述固定底座底部的滚轮,以及带动所述滚轮旋转的马达。
进一步地,所述马达的输出轴上设置有输出齿轮,所述滚轮上设置有滚动齿轮,所述输出齿轮与所述滚动齿轮啮合,以带动所述滚动齿轮旋转。
进一步地,所述马达固定在所述底座的下方。
进一步地,还包括限位开关,所述限位开关设置在所述导轨的两端,以限制所述刮片的行程。
进一步地,所述刮片包括:
用于伸入刀头缝隙内的功能部,以及,
用于固定在固定底座上的延伸部;
所述延伸部的上端与所述功能部的下端连接。
进一步地,所述延伸部与所述功能部一体成型。
进一步地,所述延伸部的厚度大于所述功能部的厚度,且,所述延伸部的厚度大于所述刀头缝隙的宽度。
进一步地,所述功能部的厚度为50-80微米;
所述功能部的高度为0.8-1.2cm。
另一方面,本发明实施例还公开了一种涂布机,其包括涂布基台、涂布喷嘴和上述的涂布机刮片装置,其中,所述导轨安装在所述涂布基台的一端,所述涂布喷嘴可移动至所述导轨的正上方。
本实用新型的有益效果是:
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