[实用新型]一种铝基板高效精确蚀刻装置有效
申请号: | 201920521607.2 | 申请日: | 2019-04-17 |
公开(公告)号: | CN210262009U | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 叶润偲 | 申请(专利权)人: | 信丰县谷梓科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/08 | 分类号: | C23F1/08;B01D53/02;B01D53/00 |
代理公司: | 苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司 32261 | 代理人: | 刘倩 |
地址: | 341600 江西省赣州市信丰县工*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 铝基板 高效 精确 蚀刻 装置 | ||
1.一种铝基板高效精确蚀刻装置,包括操作箱(1),其特征在于:所述操作箱(1)的左侧表面通过螺栓固定有抽风机(6),所述抽风机(6)的上端焊接有进风管(5),所述进风管(5)的另一端焊接有集尘罩(21),所述抽风机(6)的下端焊接有排风管(9),所述排风管(9)的表面通过通孔卡接有净化盒(8),所述净化盒(8)的左侧焊接有把手(7)。
2.根据权利要求1所述的一种铝基板高效精确蚀刻装置,其特征在于:所述净化盒(8)的上表面开设有第一孔道(15),所述净化盒(8)的下表面开设有第二孔道(16)。
3.根据权利要求1所述的一种铝基板高效精确蚀刻装置,其特征在于:所述净化盒(8)的底部内壁设有纤维滤纸层(19),所述纤维滤纸层(19)的上方设有洛克吸附层(18),所述洛克吸附层(18)的上方设有活性炭吸附层(17)。
4.根据权利要求1所述的一种铝基板高效精确蚀刻装置,其特征在于:所述操作箱(1)的右侧内壁焊接有固定板(3),所述固定板(3)的左侧表面开设有第一凹槽(20),所述固定板(3)的上表面开设有第二凹槽(12),所述第二凹槽(12)的两侧内壁开设有第三凹槽(11)。
5.根据权利要求4所述的一种铝基板高效精确蚀刻装置,其特征在于:所述第一凹槽(20)内卡接有夹具(4),所述夹具(4)的上表面开设有第四凹槽(14),所述第四凹槽(14)内卡接有T形卡杆(2),所述T形卡杆(2)的表面焊接有限位块(13),所述限位块(13)的上表面焊接有弹簧(10),所述弹簧(10)的上端焊接于第三凹槽(11)的内壁。
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