[实用新型]一种平面蒸发的蒸发源有效
| 申请号： | 201920524937.7 | 申请日： | 2019-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN209957886U | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 35219 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 徐剑兵;林祥翔 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸镀 坩埚 加热装置 空腔 喷出 本实用新型 加热气化 连接导管 气体通过 出料口 导流板 导流孔 对基板 分散板 分散孔 蒸发源 板面 底面 镀膜 罐口 基板 面源 加热 蒸发 升华 外部 生产 | ||
【权利要求书】：
1.一种平面蒸发的蒸发源，其特征在于：包括加热装置、坩埚和蒸镀板；
所述蒸镀板的内部设置有空腔，所述蒸镀板的顶面设置有多个出料口，所述坩埚的罐口与蒸镀板的底面之间设置有连接导管，所述加热装置设置在坩埚的外侧面上；
所述空腔设置有分散板，所述分散板上设置有多个分散孔，所述分散板位于多个出料口与蒸镀板的底面之间，所述坩埚的罐内顶部设置有导流板，所述导流板上设置有多个导流孔，所述导流孔与分散板用于分散引导坩埚内蒸发的气体流动。
2.根据权利要求1所述的一种平面蒸发的蒸发源，其特征在于：所述加热装置包括加热丝，所述加热丝环绕坩埚的外侧面设置。
3.根据权利要求1所述的一种平面蒸发的蒸发源，其特征在于：所述加热装置还包括导管加热丝，所述导管加热丝环绕设置在连接导管的外侧面上。
4.根据权利要求1所述的一种平面蒸发的蒸发源，其特征在于：所述蒸镀板设置有加热夹板，所述加热夹板装夹于蒸镀板的顶面与底面之间，且位于顶面的加热夹板贯穿蒸镀板的出料口设置。
5.根据权利要求1所述的一种平面蒸发的蒸发源，其特征在于：所述分散板与蒸镀板的空腔的底面之间设置有支撑柱。
6.根据权利要求1所述的一种平面蒸发的蒸发源，其特征在于：所述分散孔与出料口相互错开设置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福建华佳彩有限公司，未经福建华佳彩有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201920524937.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于光学腔面镀膜设备的载具
- 下一篇：一种加热源
- 同类专利
- 专利分类
