[实用新型]快速排液气缸

说明书

本实用新型为了解决现有的快速排液气缸耐酸碱性能和密封性能差的技术问题，提供了一种快速排液气缸，其包括由聚丙烯材质制成的缸体、气体活塞杆和托盘，所述缸体为一体式无缝焊接结构，所述托盘焊接于所述气体活塞杆位于缸体外部的一端，所述托盘的盘面上设置有氟橡胶材质的密封圈。实用新型中的缸体、活塞杆和托盘均采用具有优异耐酸碱性能的聚丙烯材料制成，气缸能够承受化学品的腐蚀，使用寿命长，且缸体为一体式无缝焊接结构，密封性能极佳。

技术领域

本实用新型涉及气缸技术领域，特别是指快速排液气缸。

背景技术

在半导体湿法工艺制程中，会浸泡槽内承装的化学品。半导体制造业是与化学密切相关的工艺过程，其中使用了多种超高纯度的工艺用化学品。化学品在半导体制造业中的主要用途有：

1.用湿法化学溶液和超纯净的水清洗或准备硅片表面；

2.用高能离子对硅片进行掺杂得到p型和n型硅材料；

3.淀积不同的金属导体层以及导体层之间必要的介质层；

4.生长薄的二氧化硅层作为MOS器件主要的栅极介质材料；

5.用等离子体增强刻蚀或湿法试剂有选择地去除材料并在薄膜上形成所需要的图形。

在化学品的纯度达不到使用要求时需及时更换浸泡槽内的化学品，为实现化学品的快速排出，会在浸泡槽的底部会开设较大的排液孔，并用气缸控制排液孔的打开和关闭。化学品具有一定的腐蚀性，且排液孔打开后会有部分化学品流到气缸上，现有的气缸的抗酸碱性能和密封性能都不能满足需求，气缸内外容易被化学品腐蚀，气缸的使用寿命低，还影响浸泡槽在排液孔关闭状态下的密封性能。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：如何提高快速排液气缸的抗酸碱性能和密封性能。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案如下：

快速排液气缸，包括由聚丙烯材质制成的缸体、气体活塞杆和托盘，所述缸体为一体式无缝焊接结构，所述托盘焊接于所述气体活塞杆位于缸体外部的一端，所述托盘的盘面上设置有氟橡胶材质的密封圈。

在一个实施例中，所述密封圈与所述托盘的盘面之间采用凹凸结构连接。其中，所述密封圈的底部具有凸起，所述托盘的盘面设置有与所述凸起配合使用的凹槽。

在一个实施例中，所述气体活塞杆位于缸体外部的一端设置有一圈向外凸出的环形凸台。由此，在气体活塞杆缩回、排液孔打开后，环形凸台压在缸体上形成端面密封，可防止化学品从活塞杆与缸体之间的间隙进入缸体内部。

在一个实施例中，所述缸体的外部设置有一圈导向管，所述气体活塞杆从所述导向管中穿过。由此，在气体活塞杆缩回、排液孔打开后，导向管的管口压在托盘底部上形成端面密封，可防止化学品从活塞杆与缸体之间的间隙进入缸体内部。

在一个实施例中，所述缸体的外部设置有与缸体中心轴平行的装配平面，缸体的进气孔和出气孔设置于该装配平面上。由此，压缩气管与缸体连接后，可采用一块封板将压缩气管固定在缸体上，即可防止压缩气管脱离，又可对缸体进行密封。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型中的缸体、活塞杆和托盘均采用具有优异耐酸碱性能的聚丙烯材料制成，气缸能够承受化学品的腐蚀，使用寿命长；

2.本实用新型中的缸体为一体式无缝焊接结构，密封性能极佳；

3.本实用新型安装在浸泡槽底部，用于控制排液孔的启闭，向缸体内部注入2～3KG的压缩气体即可实现排液孔的封闭，缸体采用聚丙烯材料不仅可以耐腐蚀，还使得气缸变得轻量化，降低了设备的整体制造成本。

附图说明