[实用新型]一种用于多晶太阳能电池的PECVD的冷却装置

权利要求书

1.一种用于多晶太阳能电池的PECVD的冷却装置，用于给经过PEVCD处理后的多晶太阳能电池降温，其特征在于：包括第一壳体（1）、底座（2）、多个第一抽风机（4），所述第一壳体（1）固设于所述底座（2）上方，所述第一壳体（1）内的两个相对应的侧壁上分别设有一个第一运输件（3），所述第一运输件（3）可用于运输盛放多晶太阳能电池的石墨舟（5）；所述第一壳体（1）的顶端设置有多个第一进气口（11），所述底座（2）在靠近第一壳体（1）的两侧分别设置有第二进气口（21），所述第一抽风机（4）均固设于底座（2）上，所述底座（2）上还设有多个与第一抽风机（4）的风道相贯通的第一出气口（22），所述第一抽风机（4）可将空气由第一进气口（11）与第二进气口（21）吸入，并由第一出气口（22）排出，从而通过空气的热量交换来给多晶太阳能电池降温。

2.如权利要求1所述的一种用于多晶太阳能电池的PECVD的冷却装置，其特征在于：所述第一进气口（11）、第二进气口（21）、第一出气口（22）上均设有防尘罩（111）。

3.如权利要求1所述的一种用于多晶太阳能电池的PECVD的冷却装置，其特征在于：所述第一运输件（3）包括多个均匀分布的第一运输辊（31）。

4.如权利要求1所述的一种用于多晶太阳能电池的PECVD的冷却装置，其特征在于：所述第二进气口（21）的开口方向与第一运输件（3）运输石墨舟（5）的运输方向所界定的夹角为45-60°。

5.如权利要求1所述的一种用于多晶太阳能电池的PECVD的冷却装置，其特征在于：所述第一壳体（1）在第一运输件（3）的运输方向的两端分别设有一个第一电动阀门（12），所述第一电动阀门（12）可通过开启阀门来配合第一运输件（3）运输石墨舟（5），还可以在第一抽风机（4）执行降温工作时关闭阀门，从而减小对其他装置内的废气的吸入。