[实用新型]一种可360度翻转样品的失效分析样品台及扫描电镜有效
| 申请号： | 201920534712.X | 申请日： | 2019-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN209591972U | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 丁宁;侯南;刘珑;田力男;郭卫民;李囡 | 申请（专利权）人： | 山东省分析测试中心 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/28;G01N23/2251;G01N23/2204 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 张庆骞 |
| 地址： | 250014 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 锥形齿轮 失效分析 齿轮轴 样品台 翻转 扫描电镜 啮合 齿轮轴端部 驱动 原位转动 换向部 夹持部 夹持 转动 | ||
1.一种可360度翻转样品的失效分析样品台，其特征在于，包括：
换向部，其包括第一锥形齿轮和第二锥形齿轮，所述第一锥形齿轮和第二锥形齿轮啮合；第一锥形齿轮套设固定在第一齿轮轴上；第二锥形齿轮套设固定在第二齿轮轴上；
夹持部，其安装在第二齿轮轴端部，用于夹持样品；
驱动部，其与第一齿轮轴相连，用于驱动第一锥形齿轮转动，带动第二锥形齿轮原位转动，进而带动样品绕第二齿轮轴360度转动，以实现样品的原位失效分析。
2.如权利要求1所述的一种可360度翻转样品的失效分析样品台，其特征在于，还包括：
支撑部，所述支撑部用于支撑换向部。
3.如权利要求2所述的一种可360度翻转样品的失效分析样品台，其特征在于，所述支撑部由两个结构相同的支撑结构固定连接而成。
4.如权利要求3所述的一种可360度翻转样品的失效分析样品台，其特征在于，所述支撑结构包括底部和侧壁，所述底部开设有半圆豁口，所述半圆豁口的半径大于第一锥形齿轮的半径；侧壁固定在底部上，所述侧壁的两个端面均设置有至少一个凹槽，用于支撑第二齿轮轴。
5.如权利要求4所述的一种可360度翻转样品的失效分析样品台，其特征在于，所述凹槽的半径大于或等于第二齿轮轴。
6.如权利要求1所述的一种可360度翻转样品的失效分析样品台，其特征在于，所述第一锥形齿轮和第二锥形齿轮两者垂直啮合。
7.如权利要求1所述的一种可360度翻转样品的失效分析样品台，其特征在于，所述换向部设置在底座上，所述驱动部设置在底座内。
8.如权利要求1所述的一种可360度翻转样品的失效分析样品台，其特征在于，所述驱动部还与控制器相连，所述控制器与无线遥控器相连。
9.如权利要求8所述的一种可360度翻转样品的失效分析样品台，其特征在于，所述驱动部包括驱动电机，所述驱动电机通过驱动芯片与控制器相连。
10.一种扫描电镜，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的可360度翻转样品的失效分析样品台。
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