[实用新型]一种全包裹派瑞林镀膜装置有效
申请号: | 201920538027.4 | 申请日: | 2019-04-19 |
公开(公告)号: | CN209873094U | 公开(公告)日: | 2019-12-31 |
发明(设计)人: | 张卫兴;庄丽叶;张振兴;钱雪冰 | 申请(专利权)人: | 江苏可润光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/448 | 分类号: | C23C16/448;C23C16/458 |
代理公司: | 31253 上海精晟知识产权代理有限公司 | 代理人: | 冯子玲 |
地址: | 210000 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 滚珠 移动支撑架 活动空隙 平板镀膜 全包裹 本实用新型 待镀膜工件 滚珠导轨 振动装置 点接触 滚动 化学气相沉积 产品可靠性 滚珠分离器 振动三角块 镀膜工件 镀膜装置 支撑架体 派瑞林 镀膜 保证 | ||
1.一种全包裹派瑞林镀膜装置,其特征在于,包括移动支撑架振动装置(200)及设置在所述移动支撑架振动装置(200)上的平板镀膜移动支撑架(100),所述移动支撑架振动装置(200)产生振动带动所述平板镀膜移动支撑架(100)使待镀膜工件在所述平板镀膜移动支撑架(100)上移动,实现点接触,所述平板镀膜移动支撑架(100)包括内部开设有若干个滚珠活动空隙(2)的支撑架体及设置在所述滚珠活动空隙(2)内的滚珠(1),所述移动支撑架振动装置(200)包括若干个设置在所述平板镀膜移动支撑架(100)下方的振动三角块,所述振动三角块下方设有振动滚轮,所述振动滚轮滚动所述平板镀膜移动支撑架(100)振动。
2.根据权利要求1所述的一种全包裹派瑞林镀膜装置,其特征在于,所述滚珠(1)为圆球形滚珠,所述滚珠(1)的直径小于所述滚珠活动空隙(2)的宽度。
3.根据权利要求1所述的一种全包裹派瑞林镀膜装置,其特征在于,位于所述滚珠活动空隙(2)内设有滚珠导轨槽(5),所述滚珠(1)在所述滚珠导轨槽(5)内滚动。
4.根据权利要求3所述的一种全包裹派瑞林镀膜装置,其特征在于,位于所述滚珠导轨槽(5)的两侧设有滚珠分离器(3),所述滚珠分离器(3)用于分离所述滚珠(1)。
5.根据权利要求4所述的一种全包裹派瑞林镀膜装置,其特征在于,所述滚珠分离器(3)通过定位件(4)固定在所述滚珠导轨槽(5)的两侧,所述定位件(4)可以为定位螺丝。
6.根据权利要求5所述的一种全包裹派瑞林镀膜装置,其特征在于,所述滚珠分离器(3)上设有滚珠空隙定位孔(6),所述定位件(4)设置在所述滚珠空隙定位孔(6)内。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的