[实用新型]低压扩散中空尾排装置

说明书

本实用新型提供了一种低压扩散中空尾排装置，包括管路连通在尾管后的废液收集瓶、曲径冷却瓶、高精过滤器、真空泵和排风口，高精过滤器与真空泵的连接管路之间还设有压力监控模块，尾管外周面还外包有中空石英管，中空石英管外部密封并具有气嘴，气嘴依次管路连通有冷却装置和气动阀，气动阀的进气端与冷却装置管路连通、出气端则与高精过滤器与压力监控模块之间的管路连通；气动阀电路连通有电磁阀和PLC控制器，并由PLC控制器和电磁阀控制开关。本实用新型结构设计合理，在尾管与中空石英管之间制造了中空隔热层，减少尾管与环境之间的热传导，减少偏磷酸淤积在尾管，提高工艺稳定性，维护量小，生产成本低。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池片生产技术领域，尤其涉及一种低压扩散中空尾排装置。

背景技术

低压扩散是一种通过改善炉管气密性、增加真空系统实现的扩散方式，通过低压扩散工艺，可以获得均匀的p-n结结构，更易实现浅结高方阻扩散工艺，提升电池转换效率，提高单管产能，降低制造成本。目前，低压扩散炉尾排方式为通过废液瓶、冷却瓶、过滤器，经真空泵将废气排至酸排。现有尾排方式的尾管部分，受环境温度影响，裸露在外的部分温度较低，因此易造成偏磷酸的凝结，以至偏磷酸无法顺利沉积在废液瓶，导致尾排系统堵塞，影响工艺的稳定性。尾管部分因长期淤积偏磷酸，易受腐蚀，尾管使用寿命短。而且尾管部分与石英管相连，损坏后导致石英炉管需要更换，生产成本升高。因尾管部分堵塞损坏频繁，导致维护维修工作量加大，设备正常运行时间降低。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为了克服现有技术之不足，本实用新型提供一种可有效减少尾管与环境之间的热传导，减少偏磷酸淤积在尾管，提高工艺稳定性，维护量小，生产成本低的低压扩散中空尾排装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种低压扩散中空尾排装置，安装在低压扩散炉的炉管的尾管端部，包括管路连通在尾管后的废液收集瓶、曲径冷却瓶、高精过滤器、真空泵和排风口，所述的高精过滤器与真空泵的连接管路之间还设有压力监控模块，所述的尾管外周面还外包有中空石英管，所述的中空石英管外部密封并具有气嘴，所述气嘴依次管路连通有冷却装置和气动阀，所述气动阀的进气端与冷却装置管路连通、出气端则与高精过滤器与压力监控模块之间的管路连通；所述的气动阀电路连通有电磁阀和PLC控制器，并由PLC控制器和电磁阀控制开关。

进一步的，所述的冷却装置也为曲径冷却瓶。

优选的，所述的中空石英管为外包在尾管上的圆柱状结构，且圆柱状结构的两端分别与尾管外周面密封，中空石英管与尾管之间形成中空隔热层，所述的中空石英管的管壁上有且仅有一个气嘴。

在本方案中，巧妙地设计了中空石英管，可与尾管形成中空隔热层，保证了尾管处的温度，避免偏磷酸淤积在尾管，让偏磷酸能顺利沉积在废液瓶，保持尾排系统的通畅，延长了尾管的使用寿命。

本实用新型的有益效果是，本实用新型提供的低压扩散中空尾排装置，结构设计合理，通过给尾管部分增加石英中空件，用真空泵抽气，使中空层维持在接近真空状态，在尾管与中空石英管之间制造了中空隔热层，减少尾管与环境之间的热传导，减少偏磷酸淤积在尾管，提高工艺稳定性，维护量小，生产成本低。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型最优实施例的结构示意图。

图2是原有的低压扩散尾排装置的结构示意图。

图中1、尾管 2、废液收集瓶 3、高精过滤器 4、压力监控模块 5、真空泵 6、排风口7、中空石英管 8、气嘴 9、冷却装置 10、气动阀 11、电磁阀 12、PLC控制器 13、曲径冷却瓶。

具体实施方式