[实用新型]匀流装置有效
申请号: | 201920548393.8 | 申请日: | 2019-04-22 |
公开(公告)号: | CN209626246U | 公开(公告)日: | 2019-11-12 |
发明(设计)人: | 陈浩;周祥磊;陈海钧;肖文明;李海波;李庆华 | 申请(专利权)人: | 江苏润阳悦达光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67 |
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地址: | 224000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 炉管 流管 流装置 匀流板 本实用新型 进气管道 体内 排气孔 太阳电池硅片 太阳电池组件 不规则排布 方阻均匀性 片内均匀性 热电偶装置 太阳电池片 太阳能电池 性能稳定性 短路电流 管壁间隔 欧姆接触 使用寿命 填充因子 烧结 电池片 可活动 炉底端 板体 等电 方阻 炉门 扩散 制造 | ||
本实用新型属于太阳能电池制造领域,尤其涉及一种改善太阳电池硅片扩散方阻片内均匀性的匀流装置,包括炉管本体、炉门以及设于该本体内的进气管道、尾排管道和热电偶装置,该匀流装置包括匀流板、匀流管,其中,匀流板固定于该炉管本体内,位于该炉管本体的炉底端,该匀流板的板体上设有多个不规则排布的第一排气孔;匀流管可活动的固定于该炉管本体内,位于该炉管本体的炉顶端,该匀流管连接该进气管道,该匀流管的管壁间隔设有多个第二排气孔。本实用新型可有效改善太阳电池片内方阻均匀性,电池片烧结后,使其形成良好的欧姆接触,可提高短路电流、填充因子等电性能稳定性,也有利于组件的稳定性和防衰减性,从而提高了太阳电池组件的使用寿命。
技术领域
本发明属于太阳能电池制造领域,尤其涉及一种改善太阳电池硅片扩散方阻片内均匀性的匀流装置。
背景技术
近年来,随着太阳能电池广泛应用,光伏行业迅速发展,许多国家逐渐大力开发太阳能资源,寻求经济发展新动力,近几年光伏行业从缓慢-快速-爆发式的发展过程,产业规模不断扩大,无论在核心技术上、产品制造还是设备上都是跳跃式发展,当前我国光伏发展迅速,已呈现区域化、集群化,企业之间形成产业链互补和经济合作形式。
企业要想持续发展,必须拥有新技术和产品质量改善,现有光伏企业在电池片技术上已相对达到平衡,扩散工段作为电池片核心工段,在方阻控制点上要求比较严格,目前在片内均匀性和尾气排放问题上还有很多不足之处,例如,现阶段扩散进气主要是靠吹气在炉门底部反弹方式进行扩散,由于炉口距离炉尾较远,片间间距小,阻挡气体流动速度,导致扩散时炉尾片内均匀性较炉口差,此外,目前尾气排放也是导致片子不良的其中一个因素,当前设备排气管道只设置一根排气管道,位置接近炉管底部,当管内所有气体同时排放时,易于导致炉管顶部气体得不到有效排放,产生偏磷酸集结的现象,降低太阳能电池片方阻均匀性和电池片电性能参数稳定性。
发明内容
本发明的目的是解决上述现有技术的不足,提供一种改善太阳电池扩散均匀性的匀流装置。
本发明解决上述现有技术的不足所采用的技术方案是:一种匀流装置,包括炉管本体、炉门以及设于该本体内的进气管道、尾排管道和热电偶装置,该匀流装置包括匀流板和匀流管,其中,匀流板固定于该炉管本体内,位于该炉管本体的炉底端,该匀流板的板体上设有多个不规则排布的第一排气孔;匀流管可活动的固定于该炉管本体内,位于该炉管本体的炉顶端,该匀流管连接该进气管道,该匀流管的管壁间隔设有多个第二排气孔。
优选的,该排气孔的出口朝着该炉管本体的炉尾端。通入炉内的气体进入匀流管后,通过匀流管向硅片四周吹气,从而提升硅片方阻均匀性,使其丝网印刷后电性能的稳定。
优选的,该匀流装置还包括一可拆卸转接头,该可拆卸转接头的一端连接该进气管道,另一端连接该匀流管。
优选的,设于该匀流管底部的该第二排气孔的孔径为顶部孔径大小的1/2倍,设于该匀流管左右两侧的该第二排气孔的孔径为底部孔径大小的2倍,此孔径设计可以使气体均匀分配在硅片四个边缘并扩散均匀,有效提升片内均匀性。
优选的,该第一排气孔的孔径大小均匀,可以更有效的使管内废气排放。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的