[实用新型]一种光刻机出片的感应装置

说明书

本实用新型涉及一种光刻机出片的感应装置，属于集成电路或分立器件芯片制造技术领域。包括光刻机本体，光刻机本体上设有输送硅片的过桥板，所述过桥板上方设有电容式传感器，电容式传感器用于感应过桥板上的硅片，所述电容式传感器与信号转换电路的输入端电性连接，电容式传感器将反馈信号传输至信号转换电路，所述信号转换电路的输出端与光刻机本体的信号接收端电性连接。所述电容式传感器与硅片的感应距离为10‑13mm。所述电容式传感器上还与指示灯电性连接。本申请不但大幅降低了维修次数；避免了信号不稳定而导致光刻机误判的情况，大幅提高了生产效率。

技术领域

本实用新型涉及一种光刻机出片的感应装置，属于集成电路或分立器件芯片制造技术领域。

背景技术

光刻是半导体制造过程中一道非常重要的工序，它是将一系列掩膜板上的芯片图形通过曝光依次转移到硅片相应层上的工艺工程，被认为是大规模集成电缆制造中心的核心步骤。半导体制造中一系列复杂而耗时的光刻工艺主要由相应的光刻机来完成。

Canon PLA501FA光刻机出片感应装置的工作原理为光束沿特定角度射在硅片表面，通过反射被光电接收管转换为电信号，设备根据收集的电信号进行判断并给出工作指令。出片感应装置对硅片表面的反光度、光线的反射角度有较高要求。然而在实际生产中硅片表面材料、图形都不是固定不变的，导致反射光的强度及角度也不尽相同，光刻机收集到的电信号也不稳定，导致Canon PLA501FA光刻机的工作状态极不稳定。

Canon PLA501FA光刻机出片感应装置有以下不足之处：

1、原装的Canon PLA501FA光刻机出片感应装置有发光小灯泡、光电接收管和信号处理电路板组成。发光小灯泡长时间处于发光状态，寿命较短，维修更换频次高；

2、因材料不同导致光线反射角度、强度不稳定，接受信号不稳定导致设备运行不稳定，影响生产效率。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种光刻机出片的感应装置，接收信号稳定，故障率低，提升生产效率。

本实用新型解决上述问题所采用的技术方案为：一种光刻机出片的感应装置，包括光刻机本体，光刻机本体上设有输送硅片的过桥板，所述过桥板上方设有电容式传感器，电容式传感器用于感应过桥板上的硅片，所述电容式传感器与信号转换电路的输入端电性连接，电容式传感器将反馈信号传输至信号转换电路，所述信号转换电路的输出端与光刻机本体的信号接收端电性连接。

所述电容式传感器与硅片的感应距离为10-13mm。

所述电容式传感器上还与指示灯电性连接。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：一种光刻机出片的感应装置，在出片过桥板上方安装了电容式接近传感器，替代了原先的光电传感器，避免了灯泡时常故障的问题，大幅降低了维修次数。电容式接近传感器的工作原理是只要有硅片在电容式传感器感应范围内经过，都能够得到反馈信号输出，不再受到硅片材料、硅片表面图形的影响，避免了信号不稳定而导致光刻机误判的情况，大幅提高了生产效率。

附图说明

图1为本实用新型实施例一种光刻机出片的感应装置的示意图；

图中1电容式传感器、2信号转换电路、3指示灯、4硅片。

具体实施方式

以下结合附图实施例对本实用新型作进一步详细描述。