[实用新型]单晶炉导流筒提升装置有效
申请号: | 201920553496.3 | 申请日: | 2019-04-22 |
公开(公告)号: | CN210048875U | 公开(公告)日: | 2020-02-11 |
发明(设计)人: | 魏海宁;张艳辉 | 申请(专利权)人: | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 32205 北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 华德明 |
地址: | 221000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 支撑板 连接板 液压泵 第一滑块 液压油箱 导流筒 输入端 液压油 滑槽 输出端电连接 底板 本实用新型 输出端连接 液压伸缩杆 单人操作 吊装装置 滑动连接 提升装置 外部控制 装置操作 上端 单晶炉 前侧面 上表面 导管 底端 下端 取出 | ||
1.一种单晶炉导流筒提升装置,包括支撑板(1),支撑板(1)的前后两侧上端连接有吊装装置,其特征在于,支撑板(1)的上表面中间位置设有液压油箱(3)和液压泵(2),支撑板(1)下端固定有连接板(4),连接板(4)底端固定连接有底板(15),连接板(4)前侧面中间位置设有第一滑槽(6),第一滑槽(6)内滑动连接有第一滑块(7),第一滑块(7)与支撑板(1)之间设有液压伸缩杆(5),液压泵(2)输入端与外部控制开关输出端电连接,液压泵(2)液压油输入端通过导管与液压油箱(3)液压油输出端连接,液压泵(2)液压油输出端通过导管与液压伸缩杆(5)液压油输入端连接,底板(15)左右两侧对称设有第二滑槽(11),第二滑槽(11)上端滑动连接有第二滑块(12),第二滑块(12)上表面通过连接杆(9)与第一滑块(7)左侧面连接,第二滑块(12)左侧面固定连接有连接块(14),连接块(14)固定在环形压板(16)内侧面。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉导流筒提升装置,其特征在于,第一滑块(7)左侧面设有一对第一固定耳座(8),第二滑块(12)上表面设有一对第二固定耳座(10),连接杆(9)左右两端分别固定在第二固定耳座(10)和第一固定耳座(8)内。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉导流筒提升装置,其特征在于,第二滑块(12)左侧面与连接块(14)之间通过弹簧柱(13)连接。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉导流筒提升装置,其特征在于,弹簧柱(13)的数量为两个,两个弹簧柱(13)对称分布在连接块(14)的前后两端。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉导流筒提升装置,其特征在于,环形压板(16)外侧面设有耐高温橡胶垫(17),耐高温橡胶垫(17)外侧面设置有凹凸结构。
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