[实用新型]一种精度保持器

说明书

本实用新型涉及光学技术领域，提供了一种精度保持器，包括：镜框基座、连接于镜框基座一端的台阶面以及设置在镜框基座侧面的至少两个的胶合层连接结构，所述胶合层连接结构中开设有小孔；本申请通过在镜框壳上设计孔结构，预留出空间，通过精密加工的方式保证其尺寸，再通过高精度光学元件与精密加工后的镜框内圈的精确配合，预留的空间由于光学元件的装入，变成封闭的间隙，再通过注胶孔将间隙填满，通过这样的方式，精确的控制了胶层厚度和均匀性，实现牢固和粘接无应力，保证了高精度光学元件集成后精度不损失，可操作性强，不仅能实现单件光学元件精度保持功能，并且性价比高、可实施性强，为先进光学系统批产化提供有力支撑。

技术领域

本实用新型涉及光学技术领域，尤其涉及一种精度保持器。

背景技术

随着人类的探索不断地向更加微观的领域前进，对探索过程中使用的光学元件或光学系统的精度要求也越来越高，例如应用在基因测序仪、光刻机、晶元缺陷检测等领域的先进光学系统，均对光学元件单面面形提出了1/100～1/500波长(常规系统光学元件单面面形1/5～1/20波长)的精度要求，相对常规系统提升20多倍，一些精度损失环节(如重力变形、元件集成、加工残余应力等)在常规系统中可以不予考虑，但是对于上述高精度显微先进光学系统却是毁灭性的，其中，高精度光学元件的集成，损失精度最为严重。另外，光学系统在保证高精度的同时，还要兼备高性价比适合批量化生产。

为了满足研究过程中的精度需求，光学系统中通常会使用精度保持器，目前，精度保持器在高精度光学元件加工检测、先进光学系统集成等领域中的应用愈发广泛。传统的精度保持器通常采用弹片窄缝等柔性机构，或采用多种柔性装置组合构成，但这种精度保持器装置结构复杂，成本高，难以应用在批量化生产制造当中。

实用新型内容

鉴于上述问题，本实用新型提出了一种精度保持器，以解决现有技术中精度保持组件结构复杂、成本高且难以批量生产的问题。

本实用新型的目的可通过以下技术措施来实现：

本实用新型提供了一种精度保持器，包括：镜框基座(1)、连接于镜框基座(1)一端的台阶面(3)以及设置在镜框基座(1)侧面的至少两个的胶合层连接结构(4)所述胶合层连接结构(4)中开设有小孔，用于注入液体胶；

其中，台阶面(3)用于承载套设在镜框基座(1)内的光学元件，所述胶合层连接结构(4)与所述光学元件连接，用于通过胶合层固定所述光学元件和镜框基座(1)。

可选地，在本申请提供的另一些实施例中所述胶合层连接结构(4)包括设置在镜框基座(1)侧面上的注胶孔(41)和开设在镜框基座(1)侧面上一端与注胶孔(41)相连接、另一端与套设在镜框基座(1)内的光学元件相连接的存胶结构(42)。

可选地，在本申请提供的另一些实施例中所述存胶结构(42)用于存储由注胶孔(41)注入的液体胶，存胶结构(42)内的液体胶固化后形成的封闭间隙厚度为0.110-0.120mm。

可选地，在本申请提供的另一些实施例中所述液体胶包括GHJ-01(z)光学用双组份环氧胶。

可选地，在本申请提供的另一些实施例中多个存胶结构(42)内形成的胶层尺寸一致，胶层均匀分布。

可选地，在本申请提供的另一些实施例中所述胶合层连接结构(4)包括4个，均匀的分布在镜框基座(1)的侧面上。

可选地，在本申请提供的另一些实施例中所述镜框基座(1)的镜框内圈面的圆柱度不大于0.005mm，与套设在镜框基座(1)内的光学元件匹配车削、间隙配合。

可选地，在本申请提供的另一些实施例中所述镜框基座(1)的镜框内圈面与所述光学元件的外表面的间隙不大于0.005mm。

可选地，在本申请提供的另一些实施例中所述台阶面(3)相对于所述镜框内圈面的垂直度不大于0.008mm。