[实用新型]一种环形靶材循环冷却装置

权利要求书

1.一种环形靶材循环冷却装置，包括冷却套(1)，所述冷却套(1)一端设置有靶材座(4)，冷却套(1)上设置有进液口(11)，其特征在于：所述靶材座(4)设置为凸台结构，所述冷却套(1)内沿其轴向设置有与进液口(11)连通的冷却管(10)，所述靶材座(4)内设置有与冷却管(10)密封连通的冷却腔(5)，所述冷却腔(5)呈环形设置并贴近靶材座(4)凸出部的外圆周面，所述冷却套(1)内沿其轴向还设置有回流芯轴(9)，所述回流芯轴(9)呈空心设置，回流芯轴(9)贴近靶材座(4)的一端设置有回流管(6)，所述回流管(6)与冷却腔(5)连通。

2.根据权利要求1所述的环形靶材循环冷却装置，其特征在于：所述冷却套(1)贴近靶材座(4)的一端设置有法兰盘(3)，所述冷却套(1)通过法兰盘(3)与靶材座(4)固定连接，所述法兰盘(3)与靶材座(4)之间设置有密封圈。

3.根据权利要求2所述的环形靶材循环冷却装置，其特征在于：所述冷却管(10)设置为两个并位于同一水平面，所述回流管(6)位于回流芯轴(9)上端，且所述回流芯轴(9)延伸入靶材座(4)的一端封口设置。

4.根据权利要求3所述的环形靶材循环冷却装置，其特征在于：所述进液口(11)位于冷却套(1)上端并沿其径向设置，所述进液口(11)延伸入冷却套(1)的一端设置有呈半圆形的引流管(12)并连通，所述引流管(12)的两端分别与两个冷却管(10)连通。

5.根据权利要求1所述的环形靶材循环冷却装置，其特征在于：所述冷却管(10)与冷却腔(5)采用卡接，所述冷却管(10)卡入冷却腔的一端套设有橡胶圈，所述冷却管(10)通过橡胶圈与冷却腔(5)密封卡接。

6.根据权利要求5所述的环形靶材循环冷却装置，其特征在于：所述回流芯轴(9)上还套设有隔热套(2)，回流芯轴(9)远离靶材座(4)的一端套设有螺母(8)，所述冷却套(1)远离靶材座(4)的一端设置有封盖(7)。

7.根据权利要求4所述的环形靶材循环冷却装置，其特征在于：所述靶材座(4)、法兰盘(3)、回流芯轴(9)和冷却套(1)均采用工程塑料制成。