[实用新型]一种硅片翻转输送装置

权利要求书

1.一种硅片翻转输送装置，其特征在于，包括底座，所述底座上设有两组支撑架，所述支撑架上设有传输机构，所述传输机构包括安装于所述支撑架两端的传动滚轮，所述传动滚轮上饶有输送带，所述支撑架两侧设有翻转机构，所述翻转机构包括翻转圆盘，所述翻转圆盘上均匀设置有至少两个卡槽，所述卡槽内设有毛毡层，两侧的所述翻转圆盘中心连接有转轴，所述转轴端部连接有驱动电机；所述支撑架两侧设有用于防止硅片偏移的辅助限位机构。

2.根据权利要求1所述的硅片翻转输送装置，其特征在于，所述辅助限位机构包括滑动连接于所述支撑架侧边的卡合部，所述卡合部上设有若干连接杆，所述连接杆上部设有挡板，所述挡板上排列设置有导向轮，所述挡板端部靠近所述翻转圆盘边缘。

3.根据权利要求2所述的硅片翻转输送装置，其特征在于，所述底座包括底板，所述底板侧边设有铝型材。

4.根据权利要求3所述的硅片翻转输送装置，其特征在于，所述卡合部包括卡合板体，所述卡合板体上设有凸条，所述凸条卡于所述铝型材侧边。

5.根据权利要求1所述的硅片翻转输送装置，其特征在于，所述驱动电机连接于所述底座下部，并连接有主动轮，所述转轴上连接有从动轮，所述主动轮和从动轮上设有同步带。

6.根据权利要求1所述的硅片翻转输送装置，其特征在于，所述传动滚轮上连接有传动电机。

7.根据权利要求1所述的硅片翻转输送装置，其特征在于，所述翻转圆盘的圆周上设有硅胶层。