[实用新型]一种用于长晶的坩埚组件有效
申请号: | 201920555510.3 | 申请日: | 2019-04-22 |
公开(公告)号: | CN210262076U | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 李加林;张红岩;窦文涛;宗艳民;李斌;高超;刘家朋;李长进;李宏刚;孙元行;刘鹏飞 | 申请(专利权)人: | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B23/00 | 分类号: | C30B23/00;C30B29/36 |
代理公司: | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人: | 吴绍群 |
地址: | 250100 山东省济南市高新区*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 坩埚 组件 | ||
1.一种坩埚组件,其特征在于,该坩埚组件包括:
坩埚主体;
坩埚盖,所述坩埚盖内侧可设置籽晶;
至少一个螺旋隔板组件,所述螺旋隔板组件设置在所述坩埚主体内,所述螺旋隔板组件的构造可形成螺旋气流通道。
2.根据权利要求1所述的坩埚组件,其特征在于,所述螺旋隔板组件的至少部分直径和其相同高度的坩埚主体内径相同。
3.根据权利要求1所述的坩埚组件,其特征在于,所述螺旋隔板组件的轴线与坩埚主体轴线大致平行。
4.根据权利要求1所述的坩埚组件,其特征在于,所述螺旋隔板组件包括2-6个螺旋叶片。
5.根据权利要求1所述的坩埚组件,其特征在于,所述螺旋隔板组件为包括螺旋叶片的螺旋轴。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的坩埚组件,其特征在于,所述螺旋隔板组件包括设置在原料区的原料区螺旋隔板。
7.根据权利要求6所述的坩埚组件,其特征在于,所述原料区螺旋隔板的螺旋角为60°-90°,垂直方向的单个叶面角度为90°-360°。
8.根据权利要求6所述的坩埚组件,其特征在于,所述螺旋隔板组件还包括设置在气相传输区的气相传输区螺旋隔板。
9.根据权利要求8所述的坩埚组件,其特征在于,所述气相传输区螺旋隔板的螺旋角为60°-90°,垂直方向的单个叶面角度为60°-180°。
10.根据权利要求6所述的坩埚组件,其特征在于,所述气相传输区螺旋隔板与原料区螺旋隔板的螺旋方向不同。
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