[实用新型]一种靶材抛光机构有效

专利信息
申请号: 201920556947.9 申请日: 2019-04-19
公开(公告)号: CN210115773U 公开(公告)日: 2020-02-28
发明(设计)人: 黄勇彪;林文宝;刘海燕;李宝英 申请(专利权)人: 深圳市众诚达应用材料科技有限公司
主分类号: B24B19/00 分类号: B24B19/00;B24B41/02;B24B47/00
代理公司: 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314 代理人: 林俭良
地址: 518000 广东省深圳市光明新*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 抛光 机构
【说明书】:

实用新型涉及一种靶材抛光机构,包括用于放置靶材的轨道跑台;通过第一转轴可转动连接在所述轨道跑台上的抛光活动臂;设置在所述抛光活动臂远离所述第一转轴一端的抛光件;还包括设置在所述轨道跑台上并与所述抛光活动臂相连接以调节所述抛光活动臂的抛光极限位置的可调定位装置,每次靶材抛光前,先测量靶材的外径,根据抛光要求调节该可调定位装置的高度,抛光过程中只要将抛光活动臂压到不能再下压即可,可避免人工用力过度,抛光件下压过量等,确保靶材加工外径整体一致性,抛光结束后,抛光活动臂自动回弹,避免抛光件下压,造成非人为加工异常。

技术领域

本实用新型涉及靶材加工设备领域,尤其涉及一种靶材抛光机构。

背景技术

抛光机构一般包括用于放置待加工靶材的轨道跑台以及对靶材进行抛光的抛光件,操作人员通过下压抛光件对靶材进行抛光,由于每个操作人员的手法和力度存在差异,故抛光的力度不一样,导致所产出的成品外形存在轻微的差别。并且工作车间目视检查的差异性,给抛光精度的提高带来了难度,造成了每根靶材的抛光量和外径不一致,容易造成喷涂的余量不多时容易造成靶材外径抛光变小,喷涂余量多时,抛光后的靶材外径超出公差。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于,提供一种靶材抛光机构。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:构造一种靶材抛光机构,包括用于放置靶材的轨道跑台;通过第一转轴可转动连接在所述轨道跑台上的抛光活动臂;设置在所述抛光活动臂远离所述第一转轴一端的抛光件;还包括

设置在所述轨道跑台上并与所述抛光活动臂相连接以调节所述抛光活动臂的抛光极限位置的可调定位装置。

优选地,所述可调定位装置包括可活动安装在所述抛光活动臂上的连接件;

与所述连接件连接、并可调整所述连接件竖直高度的高度调整组件;

以及设置在所述连接件与所述高度调整组件之间、当所述连接件沿所述高度调整组件轴向往复运动时进行缓冲以及复位的弹性组件。

优选地,所述靶材抛光机构还包括可滑动套设在所述抛光活动臂的滑套;所述连接件包括一端通过第二转轴可转动连接在所述滑套上的连接杆;

所述高度调整组件包括调节杆;

所述连接杆远离所述滑套的一端开设用于供所述调节杆插设其中的第一定位槽。

优选地,所述高度调整组件还包括设置在远离所述连接杆一端、供所述调节杆可调节设置于其中的定位套筒。

优选地,所述定位套筒开设供所述调节杆插设其中的第二定位槽。

优选地,所述调节杆包括杆体以及设置在所述杆体一侧的把手;

所述定位套筒侧壁开设调节槽;

其中,所述杆体插入所述第二定位槽中,并且所述把手从所述调节槽中伸出,操作所述把手带动所述杆体在所述第二定位槽中移动以调节竖直高度。

优选地,所述高度调整组件还包括设置在所述把手外侧、将所述调节杆固定在预定位置的固定件。

优选地,所述弹性组件包括与所述定位套筒固定连接的弹簧套筒;

设置在所述弹簧套筒中并套设在所述连接杆一端与所述调节杆一端外周的弹簧;

所述连接件还包括设置在所述连接杆周向外壁且与所述套筒内壁贴合、并且面向所述定位槽端面抵接所述弹簧的压块。

优选地,所述可调定位装置还包括设置在所述定位套筒底部、用于将所述定位套筒定位安装在所述轨道跑台上的固定基座。

优选地,还包括将所述固定基座锁紧在所述轨道跑台上的锁紧件。

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