[实用新型]可拆卸的多晶硅铸锭炉加热装置

权利要求书

1.一种可拆卸的多晶硅铸锭炉加热装置，其特征在于：

包括坩埚(1)、用于对所述坩埚(1)进行加热的加热件(2)、以及用于驱动所述坩埚(1)转动的驱动件(3)；

所述加热件(2)套设在所述坩埚(1)外，且所述加热件(2)的内侧与所述坩埚(1)的外侧之间具有设定的距离；所述驱动件(3)一端的固定件(4)穿过所述加热件(2)的底部与所述坩埚(1)的底部可拆卸连接。

2.如权利要求1所述的可拆卸的多晶硅铸锭炉加热装置，其特征在于：

所述坩埚(1)包括横向设置的第一底板(11)、位于所述第一底板(11)的两端的竖板(12)；

所述竖板(12)分别与所述第一底板(11)垂直且固定连接；

所述第一底板(11)的外侧内凹有用于所述驱动件(3)一端的固定件(4)伸入且与所述第一底板(11)可拆卸连接的第一凹槽(111)；

所述第一底板(11)上且位于所述第一凹槽(111)的底部内凹有用于容纳法兰的第二凹槽(112)，所述固定件(4)的一端端部固设有与所述法兰对应的垫片(41)；通过可拆卸件(5)将所述法兰与所述垫片(41)固定连接。

3.如权利要求2所述的可拆卸的多晶硅铸锭炉加热装置，其特征在于：

所述法兰的形状与所述第二凹槽(112)相适配。

4.如权利要求2所述的可拆卸的多晶硅铸锭炉加热装置，其特征在于：

位于所述第一凹槽(111)内的所述固定件(4)上套设有第一密封圈(6)；

所述第一凹槽(111)的周向侧壁上内凹有与所述第一密封圈(6)相适配的第三凹槽(114)。

5.如权利要求4所述的可拆卸的多晶硅铸锭炉加热装置，其特征在于：

所述固定件(4)的另一端凸出于所述第一底板(11)的外侧；

凸出于所述第一底板(11)外侧的所述固定件(4)上套设有第二密封圈(113)；

所述第二密封圈(113)与所述第一底板(11)的外侧接触贴合。

6.如权利要求1至5任一项所述的可拆卸的多晶硅铸锭炉加热装置，其特征在于：

还包括炉体(7)；

所述坩埚(1)、以及所述加热件(2)均位于所述炉体(7)内；

所述炉体(7)包括顶板(71)、两个侧板(72)、以及第二底板(73)；

所述顶板(71)的两端分别与两个所述侧板(72)的一端固定连接；所述第二底板(73)包括弧度板(731)、位于所述弧度板(731)两端且与所述弧度板(731)两端固定连接的竖直板(732)；

所述弧度板(731)与所述侧板(72)的另一端可拆卸连接；所述竖直板(732)与所述侧板(72)靠近所述弧度板(731)的端部外侧贴合。

7.如权利要求6所述的可拆卸的多晶硅铸锭炉加热装置，其特征在于：

所述驱动件(3)的输出轴穿过所述弧度板(731)与所述固定件(4)的另一端卡扣连接；

所述驱动件(3)穿过所述弧度板(731)的输出轴上涂覆有防磨层和润滑层。

8.如权利要求7所述的可拆卸的多晶硅铸锭炉加热装置，其特征在于：

所述驱动件(3)穿过所述加热件(2)的输出轴上涂覆有防磨层和润滑层。

9.如权利要求8所述的可拆卸的多晶硅铸锭炉加热装置，其特征在于：

所述驱动件(3)穿过的所述加热件(2)的形状与所述驱动件(3)相适配。