[实用新型]掩膜版修补夹具有效
| 申请号： | 201920564989.7 | 申请日： | 2019-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN209793180U | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 杜武兵;林伟;刘亨荣 | 申请（专利权）人： | 深圳市路维光电股份有限公司 |
| 主分类号： | B23Q3/06 | 分类号： | B23Q3/06 |
| 代理公司： | 44320 深圳市翼智博知识产权事务所(普通合伙) | 代理人： | 黄莉 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩膜版 修补 承载架 底座 本实用新型 支撑平台 基准边 内侧壁 夹具 长方体状 长方形状 两端位置 灵活调整 相邻侧壁 可调节 顶面 平齐 支撑 组装 容纳 | ||
【权利要求书】：
1.一种掩膜版修补夹具，其特征在于：包括底座和承载架，所述底座上设置有呈长方体状且用于容纳待修补掩膜版的凹槽，所述凹槽的内侧壁还形成有台阶，所述承载架的两端位置可调节地组装于所述凹槽的相对两内侧壁上，所述承载架的顶面与所述台阶的顶面相平齐而共同构成对所述待修补掩膜版进行支撑的支撑平台。
2.如权利要求1所述的掩膜版修补夹具，其特征在于，所述凹槽的相对两侧的台阶上按预定间隔设置有用于卡合容置所述承载架的两端从而使所述承载架可调节地组装于所述凹槽内的定位槽。
3.如权利要求2所述的掩膜版修补夹具，其特征在于，所述承载架组装在所述定位槽内的两端的厚度与所述定位槽到台阶表面的深度一致。
4.如权利要求2所述的掩膜版修补夹具，其特征在于，所述承载架两端的形状与所述定位槽的形状相匹配。
5.如权利要求1所述的掩膜版修补夹具，其特征在于，所述凹槽的相对两侧壁还形成有相互平行且平行于所述台阶的顶面的滑动槽，所述承载架的两端可滑动地置于所述滑动槽内。
6.如权利要求1所述的掩膜版修补夹具，其特征在于，所述凹槽的两个相对的内侧壁上还设有向凹槽外部凹陷形成的取料口。
7.如权利要求1所述的掩膜版修补夹具，其特征在于，所述支撑平台上接触所述待修补掩膜版的部位设置有防护层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市路维光电股份有限公司，未经深圳市路维光电股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201920564989.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
