[实用新型]一种真空镀膜机的除杂质冷却系统有效

专利信息
申请号: 201920576153.9 申请日: 2019-04-25
公开(公告)号: CN209816271U 公开(公告)日: 2019-12-20
发明(设计)人: 郑潜武 申请(专利权)人: 珠海众睿诚科技有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56
代理公司: 11212 北京轻创知识产权代理有限公司 代理人: 谈杰
地址: 519000 广东省珠海市高新区唐家*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 真空腔体 抽气管道 冷却管道 排污管道 蓄液箱 真空泵 真空腔 本实用新型 真空泵连接 真空镀膜机 穿过 冷却系统 内部填充 使用寿命 收集污物 温度过高 杂质污物 折回 除杂质 存储箱 过滤网 冷却液 良品率 热离子 体内部 下端 损伤 体内 延伸
【说明书】:

实用新型公开了一种真空镀膜机的除杂质冷却系统,包括真空腔体、抽气管道以及真空泵,所述抽气管道一端与真空腔体连接、另一端与真空泵连接,所述抽气管道的下端设置有排污管道,排污管道还连接有用于收集污物的存储箱,所述抽气管道内靠近排污管道的位置安装有过滤网,使得进入真空泵的气体没有杂质,延长其使用寿命,所述真空腔体内部设置有冷却管道,该冷却管道从真空腔体底部穿过、延伸至顶部后折回至真空腔体底部并再次穿过真空腔体,冷却管道的两端均连接有蓄液箱,该蓄液箱内部填充有冷却液,能够较好地对真空腔体中的空气,杂质污物以及热离子进行降温,并降低了真空腔体内的温度,防止了温度过高而对产品造成损伤,提高了良品率。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机领域,特别是一种真空镀膜机的除杂质冷却系统。

背景技术

真空镀膜是指在真空环境中,将某种金属或者金属化合物以气相的形式沉积到材料表面,属于物理气相工艺,可大量应用于汽车、家电、工艺装饰等工业领域,真空镀膜是真空领域里面重要的一个分支,真空镀膜主要是在真空腔体里面进行,真空腔体必须是密闭环境,先对真空室进行抽真空,达到一定真空度后进行镀膜。

现有的真空镀膜机在使用时需要通过真空腔体来实现抽真空,其现有的真空腔体在使用时不能除去真空腔体内部的杂质,其同时杂质容易堵塞真空泵,缩短真空泵的使用寿命,并且,真空镀膜机在使用时会产生大量的热量,这些热量必须及时地排出镀膜机内,否则容易导致产品受热过多而发生形变,现有的对于热量的排除是比较麻烦的。

实用新型内容

针对现有技术中存在的问题,本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机的除杂质冷却系统。

为解决上述问题,本实用新型采用如下的技术方案。

一种真空镀膜机的除杂质冷却系统,包括真空腔体、抽气管道以及真空泵,所述抽气管道一端与真空腔体连接、另一端与真空泵连接,所述抽气管道的下端设置有排污管道,排污管道还连接有用于收集污物的存储箱,所述抽气管道内靠近排污管道的位置安装有过滤网,所述真空腔体内部设置有冷却管道,该冷却管道从真空腔体底部穿过、延伸至顶部后折回至真空腔体底部并再次穿过真空腔体,冷却管道的两端均连接有蓄液箱,该蓄液箱内部填充有冷却液,所述蓄液箱内设置有用于驱动冷却液从蓄液箱至冷却管道循环流动的驱动装置。

作为本实用新型的进一步改进,所述过滤网上设置有硅藻颗粒。

作为本实用新型的进一步改进,所述抽气管道道的形状设置为“V”字型,排污管道连接在抽气管道道的中部位置。

作为本实用新型的进一步改进,所述冷却管道的形状设置为螺旋状或折叠状。

作为本实用新型的进一步改进,所述蓄液箱上开设有透气孔。

作为本实用新型的进一步改进,所述存储箱与排污管道卡扣连接。

本实用新型的有益效果

相比于现有技术,本实用新型的优点在于:

本实用新型通过在抽气管道中设置有排污管道和过滤网,使得进入真空泵的气体没有杂质,延长其使用寿命,同时冷却管道的设置以及冷却管道中循环流动的冷却液能够较好地对真空腔体中的空气,杂质污物以及热离子进行降温,并降低了真空腔体内的温度,防止了温度过高而对产品造成损伤,提高了良品率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述;显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例,基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

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