[实用新型]一种硅片加工设备有效
| 申请号： | 201920582704.2 | 申请日： | 2019-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN209774203U | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 石坚;朱棣;李杰;于友;刘世伟 | 申请（专利权）人： | 山东九思新材料科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B7/20 | 分类号： | B24B7/20;B24B41/06;B24B41/02;B24B47/04;B24B41/00 |
| 代理公司： | 37249 济南舜昊专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 张营磊 |
| 地址： | 273213 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 从动斜齿轮 传动螺杆 作业架 本实用新型 传动斜齿轮 打磨电机 驱动电机 作业机头 传动套 固定架 驱动端 硅片 啮合 硅片加工设备 侧边安装 非螺纹段 横向安装 螺纹连接 生产技术 打磨辊 交替式 螺纹段 批量性 工作台 底端 内置 打磨 保证 | ||
1.一种硅片加工设备，包括机架(1)，所述机架(1)上安装有作业架(2)，所述机架(1)的底部安装有工作台(4)，所述作业架(2)横向安装有传动螺杆(21)，所述传动螺杆(21)的螺纹段通过螺纹连接安装有传动套(26)，所述传动套(26)的底端安装有固定架(27)，所述固定架(27)上安装有作业机头(28)，其特征在于，所述作业机头(28)内置打磨电机(29)，所述打磨电机(29)的驱动端安装有打磨辊(31)，所述作业架(2)的顶部侧边安装有驱动电机(24)，所述驱动电机(24)的驱动端安装有传动斜齿轮(25)，所述传动斜齿轮(25)为不完全齿轮并且其齿纹周长为轮盘周长的一半，所述传动螺杆(21)的非螺纹段分别安装有第一从动斜齿轮(22)和第二从动斜齿轮(23)，所述传动斜齿轮(25)分别与第一从动斜齿轮(22)和第二从动斜齿轮(23)呈交替式啮合，所述作业架(2)的顶部安装有传动板(14)，所述传动板(14)上安装有传动齿条(15)，所述机架(1)的顶部安装有传动架(16)，所述传动架(16)上安装有传动齿轮(17)，所述传动齿条(15)与传动齿轮(17)相啮合。
2.根据权利要求1所述的硅片加工设备，其特征在于，所述机架(1)的左右侧板(11)的内壁设置有限位导轨(12)，所述作业架(2)左右侧壁上均安装有限位滑块(13)，所述限位滑块(13)嵌入至相应的限位导轨(12)内。
3.根据权利要求1所述的硅片加工设备，其特征在于，所述作业架(2)的顶部设置有导向槽(33)，所述传动套(26)的顶部连接安装有导向块(32)，所述导向块(32)嵌合安装在导向槽(33)内。
4.根据权利要求1-3任一所述的硅片加工设备，其特征在于，所述工作台(4)上安装有若干道夹持装置(41)，所述夹持装置(41)内置有驱动气缸(42)，所述驱动气缸(42)的驱动端安装有驱动杆(43)，所述驱动杆(43)的外杆端安装有基板(45)，所述基板(45)的两端安装有内传动连杆(49)，所述夹持装置(41)两侧安装有外传动连杆(48)，所述内传动连杆(49)与外传动连杆(48)通过活动栓相连接，所述内传动连杆(49)与外传动连杆(48)的连接端再通过活动栓安装有夹持杆架(51)，所述夹持杆架(51)的杆端安装有夹持钳(52)。
5.根据权利要求4所述的硅片加工设备，其特征在于，所述驱动杆(43)上缠绕有缓冲弹簧(44)，所述缓冲弹簧(44)的一端与驱动气缸(42)的底板相连接，所述缓冲弹簧(44)的另一端安装在基板(45)的内平面上。
6.根据权利要求5所述的硅片加工设备，其特征在于，所述基板(45)的外平面中间位置安装有直杆(46)，所述直杆(46)的杆端安装有吸盘(47)。
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