[实用新型]一种稀有气体进气过滤器有效

专利信息
申请号: 201920582736.2 申请日: 2019-04-26
公开(公告)号: CN210422957U 公开(公告)日: 2020-04-28
发明(设计)人: 吴汉林;朱汪;李桂林 申请(专利权)人: 苏州寿力气体设备有限公司
主分类号: F04B39/16 分类号: F04B39/16
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 范晴
地址: 215024 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 稀有气体 过滤器
【权利要求书】:

1.一种稀有气体进气过滤器,包括滤壳和滤芯,所述滤壳包括进气口和出气口,其特征在于:所述滤壳的进气口和出气口均设有KF法兰结构与外部管道连接,所述滤芯设有布满孔的外壳。

2.根据权利要求1所述的稀有气体进气过滤器,其特征在于:所述滤壳设有进气管和出气管,所述进气管的进气口和出气管的出气口均设有KF法兰结构。

3.根据权利要求2所述的稀有气体进气过滤器,其特征在于:所述进气管和出气管上均设有压力传感器接口。

4.根据权利要求2所述的稀有气体进气过滤器,其特征在于:所述进气管、出气管和滤壳主体均采用铝合金材料制成,通过焊接连接。

5.根据权利要求1所述的稀有气体进气过滤器,其特征在于:所述滤壳内腔设有滤壳芯子,所述滤壳芯子顶部设有螺纹孔,所述滤芯上端面与滤壳芯子之间通过螺纹连接。

6.根据权利要求5所述的稀有气体进气过滤器,其特征在于:所述滤芯下端面设有一圈密封垫与滤壳内腔下端面紧密连接,实现滤芯的径向密封。

7.根据权利要求1所述的稀有气体进气过滤器,其特征在于:所述滤芯内的滤纸采用折叠式结构折皱成形。

8.根据权利要求1所述的稀有气体进气过滤器,其特征在于:所述滤芯内的滤纸采用植物纤维材料。

9.根据权利要求1所述的稀有气体进气过滤器,其特征在于:所述滤壳上装有盖板,所述盖板与滤壳之间采用螺栓连接,所述盖板与滤壳之间还设有O型圈。

10.根据权利要求9所述的稀有气体进气过滤器,其特征在于:所述螺栓连接的螺纹孔采用嵌钢套的螺纹孔。

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