[实用新型]一种集中过滤器

说明书

本实用新型公开了一种集中过滤器，涉及硅片切割液处理设备技术领域。本实用新型，制冷箱(4)设置在平台(5)上，在制冷箱(4)上设置三层过滤箱，在每个过滤箱中都有过滤小车，过滤小车上放置过滤板(108)；在过滤箱本体(111)侧边安装门(109)，过滤小车底部通过固定件(107)安装轮子(106)；在最上层的过滤箱的盖子(112)上开进液口(6)。与现有技术相比，本实用新型，集中对切割液进行过滤、冷却处理，使其循环再利用，不排废液；规模化处理，利于降低成本；三层过滤箱，清理交替进行，无需停机，该集中过滤器可连续正常工作；可一直处于二次过滤状态，保证过滤除杂效果。

技术领域

本实用新型涉及硅片切割液处理设备技术领域，特别涉及一种集中过滤器。

背景技术

硅片是电子产品制造中重要的原材料，将硅锭加工成硅片的过程中，常采用金刚线对硅锭进行线切割，硅锭与金刚线之间剧烈摩擦瞬时产生大量热量，需要使用切割液冷却金刚线，保持金刚线的刚度，切割液在冷却金刚线时，切割产生的硅粉或金刚线粉会进入到切割液中，切割液中的硅粉或金刚线粉会影响到硅片切割平面的光滑程度，含量越多，对硅片切割面质量越不利；而且，切割液温度不断升高，会失去冷却作用。因此，需要经常更换切割液，保持其纯度和低温。

单条生产线独自设置过滤处理设备，需要设备多，占地多，需要人力多。对各个生产线中的切割液进行集中过滤处理，能够最大程度降低费用；但是，在清理过滤器时，需要停工进行，会耽误正常生产。

发明内容

本实用新型提供一种集中过滤器，解决上述技术问题。

具体技术方案是，一种集中过滤器，包括：过滤箱、制冷箱、平台、进液口；制冷箱设置在平台上，在制冷箱上设置三层过滤箱，在最上层的过滤箱的盖子上开进液口；在每个过滤箱中都有过滤小车，过滤小车上放置过滤板；过滤箱中的过滤板是现有技术中常使用到的过滤板，主要起到对含杂质的高温切割液进行过滤除杂的作用。

在过滤箱本体侧边安装门，过滤小车底部通过固定件安装轮子；需要清理时，打开门，将过滤小车拉出，取下过滤板直接进行清理，再将过滤板放回过滤小车，推进到过滤箱本体中即可。

进一步，过滤小车四周有箱板，箱板中间由两个斜向支撑交叉连接，横杆安装在斜向支撑之间，箱板底部向内形成支边。横杆和斜向支撑在箱板中间形成了平面网结构支撑，与支边共同用于过滤板的安放。

进一步，制冷箱上的底板中设有通道，通道呈波纹形，冷进管和冷出管分别连在通道的两端；在底板的中部有通孔，通孔连着出液管。切割液在冷却金刚线时，带走了热量，集中过滤处理后，需要进行冷却才能循环利用。向制冷箱上的底板中的通道中通入冷媒，可以起到冷却切割液的目的。

进一步，过滤板嵌入安装在过滤小车中间，过滤板的侧边与过滤小车四周的箱板内壁贴合。

进一步，在过滤箱本体侧边的门上安装把手。

进一步，在制冷箱上设置三层过滤箱，从上到下依次是第一过滤箱、第二过滤箱和第三过滤箱；在第一过滤箱、第二过滤箱和第三过滤箱内分别设置第一过滤小车、第二过滤小车和第三过滤小车。

三层过滤箱式的集中过滤器，可提供三种过滤模式：一次过滤、二次过滤和三次过滤。以三个过滤箱全工作为例，在正常工作中发现过滤速度下降，说明过滤板存在堵塞，需要对过滤板进行清理。一般从上至下展开清理工作，先是打开第一过滤箱上的门，将第一过滤小车拉出后关闭门，该集中过滤器进入二次过滤工作状态，将第一过滤小车上的过滤板取出清理并放回第一过滤小车；再打开第一过滤小车将带有过滤板的第一过滤小车重新推入到第一过滤箱的过滤箱本体中，该集中过滤器再次进入三次过滤工作状态。一般二次过滤的除杂效果即可达标。然后再顺次清理第二过滤箱和第三过滤箱中的过滤板，对于第一过滤箱和第二过滤箱的过滤板清理次数明显多于对第三过滤箱的过滤板清理次数。