[实用新型]一种碳化硅长晶设备

权利要求书

1.一种碳化硅长晶设备，其特征在于，包括：

石墨坩埚，所述石墨坩埚内设置用于装载原料的装料桶和籽晶，所述装料桶包括至少一个气体出口，所述装料桶可通过调节机构向籽晶方向往复移动；

加热装置，用于加热石墨坩埚使得升华原料从气体出口流出后气相传输至籽晶表面长晶；

保温结构，所述石墨坩埚设置在保温结构腔内，用于控制石墨坩埚散热；以及

炉体，所述保温结构设置在炉体内，所述加热装置环绕设置在炉体外。

2.根据权利要求1所述的碳化硅长晶设备，其特征在于，所述装料桶包括装料主体和设置在其开口上方的盖部，所述盖部与装料主体形成所述气体出口；

所述盖部向所述装料主体开口方向的投影面积大于所述装料主体开口的面积。

3.根据权利要求2所述的碳化硅长晶设备，其特征在于，所述盖部包括盖本体和支撑件，所述支撑件设置在盖本体与装料主体之间；

所述支撑件包括第一端和第二端，所述第一端与所述盖本体固定连接，所述支撑件的第二端插接在所述装料主体开口的壁部顶端面的凹槽内。

4.根据权利要求2所述的碳化硅长晶设备，其特征在于，所述盖部包括盖本体、支撑件和挡板，所述挡板与盖本体固定连接，所述挡板的延伸端、装料主体和支撑件中的至少两部分构成所述气体出口，至少挡板端部的延伸方向与所述籽晶轴线具有第一夹角α，所述挡板向所述装料主体开口方向的投影面积大于所述装料主体开口的面积；

所述挡板的延伸端高于所述装料主体开口，所述挡板垂直设置在所述盖本体和/或，所述挡板的延伸端构成的开口与所述装料主体开口的形状大致相同。

5.根据权利要求3所述的碳化硅长晶设备，其特征在于，所述盖部包括盖本体、支撑件和挡板，所述挡板与盖本体固定连接，所述挡板的延伸端、装料主体和支撑件中的至少两部分构成所述气体出口，至少挡板端部的延伸方向与所述籽晶轴线具有第一夹角α，所述挡板向所述装料主体开口方向的投影面积大于所述装料主体开口的面积；

所述挡板的延伸端高于所述装料主体开口，所述挡板垂直设置在所述盖本体和/或，所述挡板的延伸端构成的开口与所述装料主体开口的形状大致相同。

6.根据权利要求1所述的碳化硅长晶设备，其特征在于，还包括重量传感器，所述重量传感器的构造可测得装料桶和/或原料的重量。

7.根据权利要求1所述的碳化硅长晶设备，其特征在于，所述调节机构为升降机构或提拉机构。

8.根据权利要求1-5中任一项或权利要求7所述的碳化硅长晶设备，其特征在于，

所述调节机构包括托盘杆、丝杠、升降台、托盘和螺旋驱动总成，所述螺旋驱动总成与丝杠螺旋传动配合控制升降台升降，所述升降台上设置托盘杆，所述托盘杆贯穿石墨坩埚、保温结构和炉体并可带动托盘升降，所述装料桶设置在托盘上。

9.根据权利要求6所述的碳化硅长晶设备，其特征在于，

所述调节机构包括托盘杆、丝杠、升降台、托盘和螺旋驱动总成，所述螺旋驱动总成与丝杠螺旋传动配合控制升降台升降，所述升降台上设置托盘杆，所述托盘杆贯穿石墨坩埚、保温结构和炉体并可带动托盘升降，所述装料桶设置在托盘上。

10.根据权利要求9所述的碳化硅长晶设备，其特征在于，所述重量传感器设置在升降台上，所述托盘杆与所述重量传感器接触。

11.根据权利要求8所述的碳化硅长晶设备，其特征在于，还包括波纹管，所述波纹管套设在托盘杆上，所述波纹管分别与升降台和炉体抵接。

12.根据权利要求9所述的碳化硅长晶设备，其特征在于，还包括波纹管，所述波纹管套设在托盘杆上，所述波纹管分别与升降台和炉体抵接。