[实用新型]一种石墨护套有效
申请号: | 201920584325.7 | 申请日: | 2019-04-26 |
公开(公告)号: | CN209836367U | 公开(公告)日: | 2019-12-24 |
发明(设计)人: | 曾磊;张玉玉;张乃文 | 申请(专利权)人: | 山东大海新能源发展有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 11253 北京中北知识产权代理有限公司 | 代理人: | 段秋玲 |
地址: | 257300 山东省东营市*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 底板 本实用新型 内侧板 外侧板 长方形板 护套 石英陶瓷坩埚 保温效果 多晶硅锭 晶体结构 石墨护套 温度分布 安装角 多晶硅 熔融硅 坩埚壁 侧板 侧壁 拆装 抗压 内壁 外壁 坩埚 熔铸 支撑 | ||
本实用新型公开了一种石墨护套,主要用于多晶硅锭熔铸的坩埚上,涉及护套技术领域。本实用新型,内侧板(2)是长方形板;外侧板(1)的两侧都是由相接块(103)和相接区(107)构成;相接块(103)厚度大于外侧板(1)的厚度;内侧板(2)嵌于左接端(101)和右接端(102)间,内侧板(2)外壁贴于外侧板(1)的内壁;底板(3)是带有四个安装角(301)的长方形板;底板(3)是护套的底部,侧板(6)立于底板(3)的四周。与现有技术相比,本实用新型兼具抗压支撑和保温效果,改变石英陶瓷坩埚中心到侧壁的温度分布,降低熔融硅在坩埚壁上成核的机率,实现多晶硅内部晶体结构的改变;结构简单,易于拆装。
技术领域
本实用新型涉及护套技术领域,特别涉及一种石墨护套,主要用于多晶硅锭熔铸的坩埚上。
背景技术
光伏产业重点研发如何更好地利用环保能源——太阳能,随着多晶硅太阳能电池的开发应用,光伏行业快速发展。多晶硅太阳能电池的性能与质量受多晶硅锭的影响较大,多晶硅锭是将外观不规则的多晶硅原料盛放于高纯陶瓷坩埚中,在多晶硅铸锭炉中经过加热、熔化、长晶、退火、冷却等步骤,最终生长成形状规则、晶粒均匀、晶粒较大的多晶硅锭。在多晶硅锭的熔铸过程中,融化、长晶工序中,温度维持在1400℃-1550℃,此时的石英陶瓷坩埚已经成软化状态。如果没有外界力的束缚,石英陶瓷坩埚壁将会坍塌,从而导致硅液溢流等事故;为了避免此类事件发生,在石英陶瓷坩埚的外侧安装护套,用以加固支撑石英陶瓷坩埚。
目前,应用较多的坩埚护套是等静压高纯石墨材料的护套,等静压高纯石墨材料具有耐高温、较高的抗压强度、耐腐蚀、较高传热性能等性能。而等静压石墨护板由于具有较高的传热性能,故在多晶硅生长过程中,石英陶瓷坩埚四周散热较快,从而形成从坩埚壁到坩埚中心一个横向的温度梯度。由于坩埚侧壁较低温度,坩埚周围熔融硅更容易在坩埚壁上成核。在横向的温度梯度下,晶核向坩埚内部进行生长;在垂直的温度梯度下,晶核也会向上进行生长。在两者的共同作用下,在坩埚壁上的晶核向坩埚中部的上方进行生长。
光伏产业中,以薄片层横向多晶硅为优,尽量减少和避免垂直方向的生长。但是,现有石墨护套并没有改善坩埚的内部温度分布,对多晶硅内部晶体结构影响极微;而且,石墨护套拆装不便,降低了生产效率。
发明内容
本实用新型提供一种石墨护套,改善各部分的护板结构,解决上述技术问题。
具体技术方案是,一种石墨护套,包括底板和侧板;底板是护套的底部,侧板立于底板的四周。
侧板是两层结构,分为外侧板和内侧板;内侧板是长方形板;外侧板的两侧是左接端和右接端,左接端和右接端都是由相接块和相接区构成;相接块厚度大于外侧板的厚度;内侧板嵌于左接端和右接端间,内侧板外壁贴于外侧板的内壁。
底板是带有四个安装角的长方形板;安装角是将长方形板的角去掉形成的,用于安放外侧板上最下端的相接块。
外侧板是等静压石墨板,抗压能力强,主要作用是以外力束缚来加固支撑坩埚;内侧板是石墨碳毡板,绝热性能好,对于坩埚保温效果好,改善了石英陶瓷坩埚中心到侧壁的温度分布,降低了熔融硅在坩埚壁上成核的机率,实现多晶硅内部晶体结构的改变。
进一步,外侧板上设置第三孔和第四孔;第三孔的孔径小于第四孔的孔径;内侧板上设置第一孔和第二孔;第二孔的孔径等于外侧板上的第三孔的孔径;外侧板和内侧板间螺栓联接。外侧板和内侧板间连接牢固,形同一体。
进一步,相接块和相接区相邻依次分布;左接端上的相接块数目比右接端的相接块数目少一个;左接端上的相接区数目比右接端的相接区数目多一个。相接块上有销孔,销孔是通孔,销柱置于销孔中。相邻的两个外侧板间由相接块和相接区相嵌合联结后,再插入销柱,提高护套的束缚作用。销柱与销孔间隙配合,便于侧板的拆装。
进一步,相接块厚度大于外侧板和内侧板的厚度之和。内侧板完全嵌于外侧板中,内侧板不易破损,保温作用持久。
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