[实用新型]一种改善涂布机台的杯槽机构寿命的装置

说明书

本实用新型提供一种改善涂布机台的杯槽机构寿命的装置，包括环套，环套为中空结构，环套的内侧面上设置有多道斜檐，斜檐与水平面之间设置有夹角，斜檐与斜檐之间的环套内侧壁上设置有槽孔，槽孔与中空结构相导通设置。在涂布机台的杯槽内嵌套一个环套，使得在对晶圆进行旋转涂布时，被离心力甩开的液态光阻则会掉落于环套上，并通过环套上的斜檐对液态的光阻进行引流，使得液态的光阻通过槽孔进入环套的中空结构内，达到将光阻进行清理的目的。

技术领域

本实用新型涉及涂布机台领域，尤其涉及一种改善涂布机台的杯槽机构寿命的装置。

背景技术

现有的涂布机台在进行涂布时，通过吸盘吸附晶圆，再经过旋转通过光阻进行均匀的涂甩，会将多余的光阻经过离心作用甩到杯槽的侧壁上，因此需要对涂布机台上的多余光阻进行定期的清理。而光阻具有不易清洗的特性，需要通过长时间的浸泡去除，或者通过专门清除光阻的清洗液进行清洗，因此需要消耗较长的时间。甚至需要将杯槽委托专门清洗的人员进行清洗，使得生产成本较高，且生产效率较低的问题。

实用新型内容

为此，需要提供一种改善涂布机台的杯槽机构寿命的装置，解决现有的涂布机台在涂布时光阻易对设备造成污染的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种改善涂布机台的杯槽机构寿命的装置，包括环套；所述环套为中空结构，所述环套的内侧面上设置有多道斜檐，所述斜檐与水平面之间设置有夹角，所述斜檐与斜檐之间的环套内侧壁上设置有槽孔，所述槽孔与中空结构相导通设置。

进一步地，所述环套的顶面设置有进料口，所述进料口与所述中空结构相导通设置。

进一步地，所述环套的底面设置有出料口，所述出料口与所述中空结构相导通设置。

进一步地，所述槽孔设置有多个，多个槽孔沿着斜檐等间距设置在斜檐与斜檐之间的环套内侧壁上。

进一步地，所述环套的内侧壁上设置有竖直挡板，所述竖直挡板位于槽孔的一侧。

区别于现有技术，上述技术方案在涂布机台的杯槽内嵌套一个环套，使得在对晶圆进行旋转涂布时，被离心力甩开的液态光阻则会掉落于环套上，并通过环套上的斜檐对液态的光阻进行引流，使得液态的光阻通过槽孔进入环套的中空结构内，达到将光阻进行清理的目的。

附图说明

图1为具体实施方式所述的改善涂布机台的杯槽机构寿命的装置的斜檐为零度角时的剖视图；

图2为具体实施方式所述的改善涂布机台的杯槽机构寿命的示意图；

图3为具体实施方式所述的改善涂布机台的杯槽机构寿命的具有竖直挡板的示意图。

附图标记说明：

10、环套；

101、中空结构； 102、斜檐； 103、槽孔；

104、竖直挡板； 105、进料口； 106、出料口；

具体实施方式

为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。

请参阅图1、图2和图3，本实施例提供一种改善涂布机台的杯槽机构寿命的装置，包括环套10，环套为中空结构101，环套的材料可以为轻质量的石墨材料进行制作，且达到无尘的效果，确保了在使用环套时，不会对涂布的精度造成影响。环套的内侧面上设置有多道斜檐102，斜檐与水平面之间设置有夹角，该夹角的角度值在0°～90°之间，在其它实施例中斜檐可以为0°角与水平面平行，也可以为90°角与水平面相互垂直。