[实用新型]一种电阻测量装置

权利要求书

1.一种电阻测量装置，其特征在于，所述电阻测量装置包括支架，设置在支架上的二维移动平台，所述二维移动平台上设置有夹具，所述夹具用于固定待检测物，所述二维移动平台包括X轴移动平台、Y轴移动平台，所示支架上还设置有Z轴移动机构，所述Z轴移动机构上设置探针座，所述探针座上设置有至少一组探针，以及探针位置调节机构，所述探针位置调节机构用于调节所述探针位置，所述支架上还设置有检测装置，所述检测装置用于检测所述探针和/或所述待检测物的相对位置。

2.根据权利要求1所述的电阻测量装置，其特征在于，所述X轴移动平台包括X轴坐标尺，所述Y轴移动平台包括Y轴坐标尺，所述Z轴移动机构包括Z轴标尺。

3.根据权利要求2所述的电阻测量装置，其特征在于，所述X轴移动平台包括X轴以及与其配合的X轴座、Y轴移动平台包括Y轴以及与其配合的Y轴座、Z轴移动机构包括Z轴以及与其配合的Z轴座，所述探针座设置于所述Z轴座上。

4.根据权利要求1所述的电阻测量装置，其特征在于，所述电阻测量装置还包括数据采集模块，所述数据采集模块与所述探针点连接。

5.根据权利要求1所述的电阻测量装置，其特征在于，所述支架上设置有显示器，所述显示器与所述检测装置连接。

6.根据权利要求1所述的电阻测量装置，其特征在于，所述支架底部还设置水平调节机构。

7.根据权利要求1所述的电阻测量装置，其特征在于，所述检测装置为CCD。

8.根据权利要求1所述的电阻测量装置，其特征在于，所述至少一组探针包括四个探针。

9.根据权利要求1所述的电阻测量装置，其特征在于，所述探针为双弹头顶针，所述探针包括壳体、顶针、弹簧、和至少一个连接板，所述顶针贯穿设置于所述壳体中，所述顶针的尖端和所述顶针的另一端至少部分的露出于所述壳体，所述顶针和所述壳体之间能够相对运动，所述顶针穿过所述弹簧，所述至少一个连接板位于所述壳体内且与顶针连接，所述弹簧的至少一端与所述至少一个连接板连接。

10.根据权利要求9所述的电阻测量装置，其特征在于，所述顶针的直径为0.15mm。