[实用新型]一种工艺废气处理装置

说明书

本实用新型公开了一种工艺废气处理装置，包括主体、水洗循环系统和等离子净化系统和气体循环系统，所述气体循环系统设置于主体的外侧，所述水洗循环系统位于主体内的下方，所述等离子净化系统位于主体内的上方，所述水洗循环系统与等离子净化系统之间设置有除雾层，所述等离子净化系统与主体的出气口之间设置有活性炭过滤层。本实用新型通过水洗循环系统和等离子净化系统以及活性炭过滤层的三级净化处理，大大提高了对工艺废气的净化效果，同时气体循环系统能够对排出的气体进行检测，如果不达标就会通过循环气管再次进行净化处理，保证了排出气体无污染。

技术领域

本实用新型涉及废气处理设备领域，具体涉及一种工艺废气处理装置。

背景技术

半导体、LED或OLED等平板显示装置的制造工艺、太阳能电池或LED的制造工艺等使用特殊气体的工艺中，会产生对人体和环境有害的废气。为了防止所述工艺废气引起的环境污染，工艺废气在被排放到外部之前，需要先对工艺废气进行净化处理。但是现有技术中对于工艺废气的净化效果差，处理不够彻底，容易造成二次污染。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种工艺废气处理装置，用于解决现有技术中对工艺废气净化效果差，处理不够彻底的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种工艺废气处理装置，包括主体、水洗循环系统和等离子净化系统和气体循环系统，所述气体循环系统设置于主体的外侧，所述水洗循环系统位于主体内的下方，所述等离子净化系统位于主体内的上方，所述水洗循环系统与等离子净化系统之间设置有除雾层，所述等离子净化系统与主体的出气口之间设置有活性炭过滤层。

优选地，所述等离子净化系统包括电场、阴极针架、阳极筒和均流板，所述阴极针架设置于所述电场的上方，所述阳极筒并排设置于电场内，所述阴极针架的底部并排安装有阴极针，每个所述阴极针均插设于对应的阳极筒内，所述均流板设置于所述电场的下方。

优选地，所述阴极针架与阳极筒之间设置有绝缘子。

优选地，所述等离子净化系统通过绝缘侧板安装于主体的内侧壁上。

优选地，所述水洗循环系统包括循环水箱、水泵、输水管、与输水管连接的喷头、填充层和药液箱，所述循环水箱位于主体内的底部，所述水泵连通循环水箱并将循环液通过输水管及喷头喷出，所述填充层位于喷头的下方，所述药液箱位于循环水箱上方，所述药液箱上安装有pH检测仪，所述pH检测仪部分浸没在循环水箱内的循环液中。

优选地，所述气体循环系统由进气管、出气管、循环气管、三通阀和检测器组成，所述主体外侧壁的下方连接所述进气管，所述主体的顶端连接所述出气管，所述进气管和出气管之间连接有所述循环气管，所述循环气管与出气管的连接处设有所述三通阀，所述出气管上还安装有所述检测器。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过水洗循环系统和等离子净化系统以及活性炭过滤层的三级净化处理，大大提高了对工艺废气的净化效果，同时气体循环系统能够对排出的气体进行检测，如果不达标就会通过循环气管再次进行净化处理，保证了排出气体无污染。

附图说明

下面结合附图与具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。

图1为本实用新型提供的一种工艺废气处理装置的结构示意图。

其中，附图标记具体说明如下：主体100、水循环系统200、循环水箱201、水泵202、输水管203、喷头204、填充层205、药液箱206、pH检测仪207、等离子系统300、电场301、阴极针架302、阴极针303、阳极筒304、均流板305、绝缘子306、绝缘侧板307、气体循环系统400、进气管401、出气管402、循环气管403、三通阀404、检测器405、除雾层500、活性炭过滤层600。

具体实施方式