[实用新型]一种微电子工艺教学套件

说明书

本实用新型公开了一种微电子工艺教学套件，包括微电子工艺实验控制箱，在控制箱内设置有控制电路板，控制电路板上设置含有微处理器的工艺实验控制电路，在控制箱正面设置有与控制电路连接的液晶显示屏和控制键盘，在控制箱侧面设置有与控制电路连接的测试接口，所述测试接口有多个，多个测试接口通过接口缆线分别连接有二极管器件测试板卡、三极管器件测试板卡、MOSFET器件测试板卡、LDMOS器件测试板卡和GaN器件测试板卡。本实用新型能够以按键和液晶显示屏结合的方式，给学生提供模拟真实半导体工艺设备操作的交互界面。操作简单，直观；学生可以更加通俗易懂的通过工艺设备的仿真操作，去理解和掌握半导体工艺的基本原理和关键技术。

技术领域

本实用新型涉及一种教育产品，特别是涉及一种微电子工艺教学套件。

背景技术

集成电路是在单个芯片上制作晶体管和互连线的加工技术发展而成，这些制作集成电路的加工技术综合起来称为工艺。自晶体管和集成电路发明以来，半导体产业就已经呈现出在新工艺和工艺提高上的持续发展。工艺的提高导致了具有更高集成度和可靠性的集成电路的产生，从而推动了微电子工业的革命，最具代表性的就是摩尔定律，依靠工艺尺寸的缩小使得芯片中单位面积的晶体管数量每两年翻一番。

目前，微电子工艺技术已进入7nm量产阶段，然而学校微电子工艺教学内容和实验条件却极大地落后于时代发展，这使得学生所掌握的工艺技术知识与实际半导体产业具有明显差距。这一方面是由于教学内容未能及时与技术的发展同步，另一方面是由于日益昂贵的微电子工艺设备，阻碍了先进工艺教学的实践环节。因此，急需提供一种适合于微纳电子工艺教学，且能够以“虚拟化”的方式开展先进工艺实践的教学产品。

发明内容

本实用新型的目的在于提出一种微电子工艺教学套件，通过以按键和液晶显示屏结合的方式，提供模拟真实半导体工艺设备操作的交互界面，通过工艺设备的仿真操作去理解和掌握半导体工艺的基本原理和关键技术等，教学套件还提供了后端工艺教学的封装和测试环节，保证工艺教学功能的完整性。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案是：一种微电子工艺教学套件，包括微电子工艺实验控制箱，在控制箱内设置有控制电路板，控制电路板上设置含有微处理器的工艺实验控制电路，在控制箱正面设置有与控制电路连接的液晶显示屏和控制键盘，其中，在控制箱正面还设置有与控制电路连接的测试接口插座，所述测试接口插座有多个，多个测试接口插座通过接口缆线分别连接有二极管器件测试板卡、三极管器件测试板卡、MOSFET器件测试板卡、LDMOS器件测试板卡和GaN器件测试板卡，所述控制键盘被划分为多个按键区域，包括方向按键区、数字键盘区和测试功能选择按键区，其中：方向按键区的按键的信号引出，是以单个键信号引出的方式与微处理器信号输入端连接；数字键盘区和测试功能选择按键区的信号引出，是以“行”与“列”构成矩阵按键触点形成的多条“行”方向和“列”方向信号线与微处理器信号输入端连接。

方案进一步是：所述二极管器件测试板卡上设置有两种不同封装类型的二极管，分别是DO-35类型封装二极管器件和SOT-23类型封装二极管器件，在板卡上设置有一个二选一选通开关，完成器件的切换。

方案进一步是：所述三极管器件测试板卡上设置有三种不同封装类型的三极管器件，分别是TO-92类型封装三极管器件、TO-204AA类型封装三极管器件和SOT-23类型封装三极管器件，在板卡上设置有一个三选一选通开关，完成器件的切换。

方案进一步是：所述MOSFET器件测试板卡上设置有两种不同封装类型的MOSFET器件，分别是PQFN8类型封装器件和WLCSP10类型封装器件，在板卡上设置有一个二选一选通开关，完成器件的切换。

方案进一步是：所述LDMOS器件测试板卡上设置有两种不同封装类型的LDMOS器件，分别是PowerSO-10RF类型封装器件和PowerFLAT类型封装器件，在板卡上设置有一个二选一选通开关，完成器件的切换。