[实用新型]复合式质谱检漏仪

说明书

本实用新型涉及一种复合式质谱检漏仪，涉及检测设备技术领域，其包括工作台及在工作台上装设的检测箱体，在检测箱体中均装设有固定装置，在工作台上位于检测箱体中开设有抽气孔、第一充气孔及检验孔，在工作台上位于检测箱体一侧开设有第二充气孔，充气孔连接有充气管，充气管远离充气孔的一端装设有与试件配合的插接头，在工作台中设有抽真空装置、充氦气装置及氦气分析仪，抽真空装置与抽气孔连接，充氦气装置与第一充气孔及第二充气孔连接，并且在工作台上设有检测吸枪，本实用新型能够根据试件的种类选择不同的检测方法对其进行检测，并且可以同时采用多种检测方式，从而提升其适应性及检测质量。

技术领域

本实用新型涉及检测设备技术领域，尤其是涉及一种复合式质谱检漏仪。

背景技术

氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

如公开号为CN107024325A的中国专利公开的一种 质谱检漏仪结构，包括检漏仪本体、抽真空系统、抽真空管、平台和密封盒，所述平台设有通孔，所述密封盒无盖，所述密封盒盖合于所述通孔，所述抽真空管对准所述通孔，所述密封盒和抽真空管分别设于平台的两侧，所述密封盒的内部容置空间与半导体器件的外部轮廓相配合，所述密封盒内设有密封圈，所述密封圈设有支出部，所述支出部支出密封盒的盖合口。由于采用了上述技术方案，本发明具有结构合理的优点，所述密封盒的内部容置空间与半导体器件的外部轮廓相配合，尽可能缩短抽取真空的时间，提高氦质谱检漏仪的工作效率。

但是，上述技术存在以下缺陷：在对试件进行检测时，由于其检测方法的单一性，只能对一类的试件进行检测，并且存在缺陷，使其适应性较低，并且检测质量不高。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种复合式质谱检漏仪，能够根据试件的种类选择不同的检测方法对其进行检测，并且可以同时采用多种检测方式，从而提升其适应性及检测质量。

本实用新型的上述目的是通过以下技术方案得以实现的：一种复合式质谱检漏仪，其特征在于：包括工作台、在所述工作台上装设的检测箱体，在所述检测箱体中均装设有固定装置，在工作台上位于所述检测箱体中开设有抽气孔、第一充气孔及检验孔，在所述检验孔上连接有检验管，所述检验管远离检验孔的一端连接有与试件配合的插接头，在工作台上位于所述检测箱体一侧开设有第二充气孔，所述第二充气孔连接有充气管，所述充气管远离充气孔的一端装设有与试件配合的插接头，在所述工作台中设有抽真空装置、充氦气装置及氦气分析仪，所述抽真空装置与抽气孔连接，所述充氦气装置与所述第一充气孔及第二充气孔连接，并且在所述工作台上设有检测吸枪。

实施上述技术方案，在需要对容器进行检漏时，首先对容器的种类及需要采用的检测方法进行判断，当需要使用真空法进行检测时，将容器放置于检测箱体中，并且使用固定装置将容器固定于工作台上，将检测管通过插接头与容器连接，再通过抽真空装置通过抽气孔将检测箱体变为真空环境，之后通过第一充气孔向检测箱体中充入氦气，使用氦气分析仪对容器内部进行检测，当需要使用正压法进行检测时，将容器放置于工作台上位于检测箱体外侧，再将充气管与容器连接，通过充氦气装置向容器内通入一个大气压力的氦气，再使用检测吸枪对容器的外部进行检测，从而提升其适应性及检测质量。

本实用新型进一步设置为：所述抽真空装置包括在所述工作台内设置的真空泵及抽气管，所述抽气管与所述抽气孔连接并且在所述抽气管中装设有电磁阀。