[实用新型]硅片缓存机

说明书

本实用新型公开了一种硅片缓存机，包括缓存机构和传输机构；传输机构具有同步移动的多组传送带；缓存机构设置在传送带移动方向上的目标位置，其具有同步升降的多组缓存架；每组缓存架上均设有沿竖直方向彼此间隔排布的多个支架，两相邻支架之间具有用于容纳硅片边部的竖直间隙；传送带上的硅片被传送至目标位置时，硅片的边部进入缓存架上与之等高的竖直间隙；缓存架上升时，支架撑托硅片上升，使得传送带上的硅片移位至缓存架上；缓存架下降时，缓存架上的硅片下料至传送带上。本实用新型的缓存架配置在硅片流水线生产的两套设备之间，运行方向的前段设备暂停时逐层缓存硅片，设备启用时逐层缓存的硅片下料至流水线上，避免设备暂停过程中硅片受到损伤。

技术领域

本实用新型涉及硅片自动化设备技术领域，具体涉及一种硅片缓存机。

背景技术

硅片的流水线生产中，当运行方向的前段设备出现故障暂停、而与之紧邻的位于运行方向后段的设备不能立即停止运行时，又或者即使前端设备出现故障时立即切断后段设备时，两设备之间都会积压部分硅片；比如硅片的工艺机和下料机，工艺机中出来的硅片进入下料机，当下料机出现故障暂停时，工艺机和下料机之间会积压部分硅片，硅片堆积放置难免会因为摩擦而产生划伤，因此，需要在两套设备之间放置缓存机构，在设备出现故障时能够暂时的缓存硅片，避免设备维修过程中硅片受到损伤。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种硅片缓存机，配置在硅片流水线生产的两套设备之间，运行方向的前段设备暂停时逐层缓存硅片，设备启用时逐层缓存的硅片下料至流水线上，避免设备暂停过程中硅片受到损伤；另一方面，优化结构设计的缓存机，在减小设备体积、精简动力源的情况下做到大批量缓存硅片。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种硅片缓存机，包括缓存机构和传输机构；

所述传输机构具有多组传送带，所述多组传送带沿水平方向依次并列排布，且所述多组传送带均连接驱动器一，所述多组传送带在驱动器一的驱动下同步移动；所述传送带用于输送硅片、且所述硅片沿垂直于其传送方向的两侧边部均脱离传送带向外侧延伸；

所述缓存机构设置在传送带移动方向上的目标位置，其具有多组缓存架，所述多组缓存架沿水平方向依次并列排布，且所述多组缓存架均连接驱动器二，所述多组缓存架在驱动器二的驱动下同步升降；每组传送带均对应一组缓存架、且各所述缓存架均设置在与之对应的传送带的外侧；

每组所述缓存架上均设有多个支架，多个所述支架沿竖直方向彼此间隔的固定在缓存架上，所述支架的另一端向传送带方向延伸，两相邻支架之间具有用于容纳硅片边部的竖直间隙；

所述传送带上的硅片被传送至所述目标位置时，所述硅片的两侧边部均进入缓存架上与之等高的竖直间隙；所述缓存架上升时，所述支架撑托硅片上升，使得传送带上的硅片移位至缓存架上；所述缓存架下降时，缓存架上的硅片下料至传送带上。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括各所述传送带均包括彼此平行、且间隔设置的两组皮带，所述两组皮带的两端分别套设在一对主动皮带轮和一对从动皮带轮上，所述一对主动皮带轮共轴线连接在主动轴上，所述一对从动皮带轮共轴线连接在从动轴上；所述多组传送带的主动轴通过联轴器两两连接，所有主动轴连接后的整体连接驱动器一。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所有传送带的两组皮带之间均设有阻挡器，多组所述阻挡器均连接驱动器三，所述多组阻挡器在驱动器三的驱动下同步升降；沿传送带的传送方向，所述阻挡器设置在缓存架的外侧；

所述硅片的边部进入缓存架上与之等高的竖直间隙时，所述阻挡器上升阻挡硅片。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述阻挡器为竖向延伸的阻挡板，各所述阻挡板均固定在连接部件上，所述连接部件长度延伸方向上间隔设有两组驱动器三；所述阻挡板上接触于硅片的部位设有倾斜导向部。