[实用新型]一种用于扩晶机的切膜装置有效
申请号: | 201920621473.1 | 申请日: | 2019-04-29 |
公开(公告)号: | CN209954725U | 公开(公告)日: | 2020-01-17 |
发明(设计)人: | 邹军 | 申请(专利权)人: | 深圳市普拉斯玛自动化设备有限公司 |
主分类号: | B26D1/06 | 分类号: | B26D1/06;B26D7/01;H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518105 广东省深圳市宝安区松岗*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 底盘 刀片 切膜装置 安装槽 环形槽 内环 本实用新型 刀片设置 底盘外壁 旋转刀片 凸出 内环套 凸出的 晶机 外壁 | ||
1.一种用于扩晶机的切膜装置,其特征在于,包括扩晶底盘、至少一个刀片和扩晶内环,
所述扩晶底盘的边沿开设有至少一个安装槽,所述刀片设置于所述安装槽内,
所述扩晶底盘的边沿还开设有环形槽,所述扩晶内环套设于所述环形槽内,所述刀片位于所述扩晶内环与所述扩晶底盘之间,所述刀片的一端凸出所述扩晶底盘的外壁。
2.根据权利要求1所述的切膜装置,其特征在于,包括四个刀片,所述扩晶底盘的边沿开设有四个呈正方形分布的安装槽,每一所述刀片设置于一所述安装槽内。
3.根据权利要求1所述的切膜装置,其特征在于,所述刀片和所述扩晶底盘通过螺钉固定。
4.一种具有权利要求1至3任一项所述切膜装置的扩晶机,其特征在于,还包括机体、固定架、第一气缸、第二气缸、第三气缸、固定盘、扩晶外环和压环,所述固定架和所述第一气缸分别设置于所述机体上,所述第二气缸和第三气缸分别设置于所述固定架上,所述扩晶底盘设置于所述第一气缸的驱动端,所述固定盘设置于所述第二气缸的驱动端,所述压环设置于所述第三气缸的驱动端,所述扩晶外环设置于所述固定盘上,所述压环位于所述扩晶外环外。
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