[实用新型]一种真空镀膜设备

权利要求书

1.一种真空镀膜设备，包含真空镀膜腔室，其特征在于，还包含预镀膜基体、除尘防护室、风淋装置、抽真空装置和惰性气体冲入装置；

所述除尘防护室与真空镀膜腔室相连接，所述除尘防护室与真空镀膜腔室之间设有开关隔断装置；

所述预镀膜基体包括基体和基体表面的遮盖物；

所述除尘防护室包括遮盖物脱除装置和气体喷嘴阵列；

所述风淋装置、抽真空装置和惰性气体冲入装置与除尘防护室相连接。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备，其特征在于，所述遮盖物脱除装置包括滚筒和带动所述滚筒转动的电机。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备，其特征在于，所述遮盖物为塑料薄膜、柔性金属。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备，其特征在于，所述风淋装置包括鼓风机，所述鼓风机两端设置有进气通道和排气通道。

5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜设备，其特征在于，所述进气通道与排气通道与所述除尘防护室相连接，所述进气通道和排气管道分别设置有第一阀门和第二阀门。

6.根据权利要求4所述的一种真空镀膜设备，其特征在于，所述鼓风机内部设置有滤尘装置。

7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备，其特征在于，所述抽真空装置包括真空泵和与连接所述除尘防护室和所述真空泵的气体通道，所述气体通道设置有第三阀门。

8.根据权利要求4所述的一种真空镀膜设备，其特征在于，所述惰性气体冲入装置包括惰性气体气源和输入惰性气体通道，所述输入惰性气体通道设置有第四阀门。

9.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备，其特征在于，所述除尘防护室内惰性气体的气压大于1个大气压。

10.根据权利要求8所述的一种真空镀膜设备，其特征在于，所述气体喷嘴阵列与所述排气通道相连，所述气体喷嘴阵列与所述输入惰性气体通道相连。

11.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备，其特征在于，所述气体喷嘴阵列位于所述除尘防护室内表面。