[实用新型]节能型直拉单晶炉

说明书

本实用新型公开一种节能型直拉单晶炉，包括矩形箱体，所述矩形箱体的外侧面上端设有锥形罩，锥形罩的外侧面上端中部设有柱形导流罩，柱形导流罩的外侧面上端设有外壳体，外壳体的内侧面中部设有定位板，定位板的上表面设有旋转电机，定位板的上表面中部转动连接有中空转轴，中空转轴的上端面设有电动提升装置，电动提升装置上连接有吊绳，且吊绳穿过中空转轴设置，吊绳的下端面设有拉晶杆，本节能型直拉单晶炉，结构紧凑，操作方便，使用时占用空间小，可以连续高效的进行单晶硅生产，真空上料泵的设置方便了原料的连续加注，通过电加热丝可以对原料进行预加热处理，取料口盖板的设置方便了原料的取出。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域，具体为一种节能型直拉单晶炉。

背景技术

目前，利用直拉单晶炉生产单晶炉的技术已经比较成熟，当下对单晶硅的核心技术应该是如何降低设备的制造成本，一般可以通过两种方法：一是降低功耗，二提高拉晶速度，但是如果使用一方面的简单设计，会带来晶体质量上的问题，专利申请号201020182937.2中公开了直拉硅单晶炉装置，该装置中在炉腔中硅熔体上方设置一个两端开口的罩体，使得在单晶硅生长过程中，所述的单晶硅是从罩体内沿着罩体向上生长，惰性气体通过副室流向罩体，再沿着罩体向硅熔体液面流动，最终经排气口排出。虽然提高了晶体硅的浓度但是在拉晶过程中由于散热的问题使得拉晶速度不是很好，没有降低功耗，同时现有技术中的直拉单晶炉在实际生产过程中，需要间断的将单晶炉炉火熄灭，熄灭后降温，降温完成后将单晶硅取出，同时再将原料加注到坩埚的内部，再次点火进行单晶硅生产，采用此种方法生产会浪费大量的能量，造成单晶硅的生产效率较低。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种节能型直拉单晶炉，可以连续高效的进行单晶硅生产，给单晶硅的生产使用带来了便利，而且可以在不熄火的情况下将单晶硅取出，进一步提升了本实用新型的使用效率，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种节能型直拉单晶炉，包括矩形箱体，所述矩形箱体的外侧面上端设有锥形罩，锥形罩的外侧面上端中部设有柱形导流罩，柱形导流罩的外侧面上端设有外壳体，外壳体的内侧面中部设有定位板，定位板的上表面设有旋转电机，定位板的上表面中部转动连接有中空转轴，中空转轴的上端面设有电动提升装置，电动提升装置上连接有吊绳，且吊绳穿过中空转轴设置，吊绳的下端面设有拉晶杆，柱形导流罩的外侧面中部设有锥形料嘴，锥形料嘴的外侧面上端设有柱形进料管和抽气口，柱形进料管上设有第一阀门，柱形进料管上连接有真空上料泵，旋转电机和电动提升装置的输入端均通过外部开关与外部电源的输出端电连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述柱形导流罩的外侧面中部设有取料口，柱形导流罩的外侧面靠近取料口的一端设有取料口盖板，取料口盖板的外侧面设有把手。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述矩形箱体的内部设有坩埚，坩埚的底部设有旋转装置，坩埚的外侧面设有电加热装置。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述矩形箱体的前侧面设有操作口，矩形箱体的前侧面靠近操作口的一端设有密封盖板。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述锥形罩的外侧面设有进气管和出气管，进气管和出气管的外侧面均设有阀门。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述锥形罩的内侧面上端转动连接有盖板，盖板的外侧面与矩形箱体的内侧面之间设有电控伸缩杆，盖板与设置在锥形罩上端面的出料口密封卡接对应设置，电控伸缩杆的输入端通过外部控制器与外部电源的输出端电连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述真空上料泵的进料口通过导管连接有储料箱，储料箱的上端面设有上盖板。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述锥形料嘴通过设置在其外侧面的U形定位架连接有L形竖板，L形竖板的下表面通过托板与矩形箱体的外侧面相连。