[实用新型]一种用于热蒸发系统的衬底旋转装置

权利要求书

1.一种用于热蒸发系统的衬底旋转装置，其特征在于：包括蒸发腔、设置在蒸发腔内的热蒸发部、衬底托盘、托盘支架、磁性金属薄片，以及设置在蒸发腔外侧的磁场激发装置，所述的磁场激发装置与磁性金属薄片相互配合，所述的托盘支架设置在热蒸发部上，所述的热蒸发部用于放置源材料，所述的托盘支架上设置有用于放置衬底托盘的槽口，所述的衬底托盘上设置有用于放置衬底的衬底槽，所述的衬底槽上方的衬底托盘上设置有磁性金属薄片，所述的磁场激发装置通过激发磁场与磁性金属薄片相互配合，将衬底托盘缓慢升高1-10mm，并通过激发旋转磁场，以控制衬底托盘匀速旋转。

2.根据权利要求1所述的一种用于热蒸发系统的衬底旋转装置，其特征在于：所述的蒸发腔为石英罩，蒸发镀膜时，其内的气压为10-4-10-6Pa。

3.根据权利要求1所述的一种用于热蒸发系统的衬底旋转装置，其特征在于：所述的磁场激发装置为永磁铁，所述的永磁铁与马达连接，所述的永磁铁还与外部电源连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于热蒸发系统的衬底旋转装置，其特征在于：所述的磁场激发装置为超导体线圈，所述的超导体线圈与旋转电机连接，所述的超导体线圈还与外部电源连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于热蒸发系统的衬底旋转装置，其特征在于：所述的热蒸发部为钨舟或者钼舟。

6.根据权利要求1所述的一种用于热蒸发系统的衬底旋转装置，其特征在于：所述的磁性金属薄片为磁性耐高温钢片。

7.根据权利要求1所述的一种用于热蒸发系统的衬底旋转装置，其特征在于：所述的衬底托盘的转速为2-50转/分钟。

8.根据权利要求1所述的一种用于热蒸发系统的衬底旋转装置，其特征在于：所述的衬底的形状为圆形或正方形，其尺寸为1×1-20×20cm。

9.根据权利要求6所述的一种用于热蒸发系统的衬底旋转装置，其特征在于：所述的磁性金属薄片通过螺栓安装在衬底托盘上。