[实用新型]一种用于电子束扫描测量仪的晶圆传送密封保护装置

说明书

本实用新型涉及一种用于电子束扫描测量仪的晶圆传送密封保护装置，包括用于实现自动密封取片的控制台及SMIF传送盒，所述控制台置于电子束扫描仪中承载台的表面，所述SMIF传送盒设于所述控制台上；本实用新型结构简单，使用方便，成本低廉，本实用新型不需要外挂整套SMIF机构，仅仅利用电子束扫描测量仪原有的传送机构即可实现晶圆自动传送，其具有安装方便、体积小巧、故障率低的优点，本实用新型的适配性好，有效实现了12英寸晶圆的电子束扫描测量仪支持对8英寸晶圆的自动化参数测量。

技术领域

本实用新型涉及电子束测量扫描仪领域，尤其涉及一种用于电子束扫描测量仪的晶圆传送密封保护装置。

背景技术

电子束扫描测量仪是一种在半导体制程中用于测量晶片上图案及其关键尺寸的仪器，由于晶圆在使用晶圆卡匣(wafer cassette)传送过程中，易受到外界环境中悬浮颗粒、水汽等污染，导致晶圆良率下降、检测设备内部脏污等问题，越来越多的晶圆传送工作要求使用晶圆传送盒来对晶圆进行密封保护。

标准机械界面提供了一种自动化机械接口标准，符合SMIF规格的晶圆传送盒能够支持检测仪器自动连续移送晶圆，得以广泛应用。SMIF传送盒内部提供了一个超洁净的小环境，具有受控的气流、压力及粒子数量，将晶圆卡匣放置在SMIF传送盒中，能够有效避免晶圆及检测设备污染，同时也降低了对外部环境的要求。

SMIF技术主要用于8英寸及以下尺寸晶圆传送。对于12英寸或以上尺寸的晶圆，由于晶圆尺寸大、刚性不足的原因，具有更大的形变，并不适用SMIF技术。目前12英寸或以上尺寸的晶圆普遍使用前开式晶圆传送盒(Front Opening Unified Pod,FOUP)，前开式晶圆传送盒移除了晶圆卡匣，通过内部结构将晶圆固定在特定位置，用前开门代替底部开口，从而支持取片手臂直接进入传送盒传送晶圆。

SMIF传送盒与FOUP传送盒使用不同的规格，与之匹配的自动化传送机构也不相同，12英寸晶圆的电子束扫描测量仪仅能对FOUP传送盒进行控制，也就只能测量12英寸晶圆的参数，无法测量8英寸及以下尺寸晶圆。传统解决方法为在12英寸晶圆的电子束扫描测量仪上外挂SMIF机构，实现SMIF传送盒的装载和自动传输，但增加整套SMIF机构存在成本高昂、安装不便、设备占地面积增加、故障率增大等缺点。

实用新型内容

本申请人针对上述现有问题，进行了研究改进，提供一种用于电子束扫描测量仪的晶圆传送密封保护装置，利用本实用新型而已使12英寸晶圆的电子束扫描测量仪支持对8英寸晶圆的自动化参数测量。

本实用新型所采用的技术方案如下：

一种用于电子束扫描测量仪的晶圆传送密封保护装置，包括用于实现自动密封取片的控制台及SMIF传送盒，所述控制台置于电子束扫描仪中承载台的表面，所述SMIF传送盒设于所述控制台上；

所述SMIF传送盒包括互相配合的遮罩及内部中空的解锁底座，于所述解锁底座的一面设有用于将晶圆卡闸固定的凸起，在所述解锁底座的另一面开设一对通孔，在所述解锁底座的中空部分设置一对锁板，各所述锁板上开设解锁孔，在所述锁板上还设置一对用于抵住遮罩内侧的锁紧部，在所述解锁底座相对的两侧还分别开设供锁紧部伸入伸出的锁紧开口；

所述控制台包括控制台底座、移动托架、紧固块、滑动组件、固定架及用于配合解锁底座的适配底板，所述控制台内部开设用于放置控制器的中空结构，在所述控制台表面设置用于控制SMIF传送盒装载的第一按键及用于卸载的第二按键；固定架抵接于电子束扫描仪的一侧，在所述固定架上开设用于传送晶圆的开口，一对滑动组件固接于固定架上，在各滑动组件的滑动端均固接紧固块，在相邻紧固块之间固接移动托架，所述移动托架内边与适配底板的对接处还设置柔性密封结构；在所述适配底板上分别设有多个压力传感器、用于固定SMIF传送盒的定位柱及实现解锁底座与适配底板锁定和打开的解锁装置。

其进一步技术方案在于：