[实用新型]密封组件

说明书

一种密封组件，设置于第一构件的鸠尾槽中，用以使所述第一构件与第二构件结合，所述密封组件包括第一密封组件以及第二密封组件，其中第一密封组件设置于所述鸠尾槽的所述底面上，所述第二密封组件则设置于所述第一密封组件上并凸出所述鸠尾槽的开口，其中所述第二密封组件具有凹陷部，且所述第一密封组件位于所述凹陷部内。

技术领域

本实用新型是有关于一种密封组件，特别是有关于一种可防止密封件于鸠尾槽中受侧向力而发生扭转，且能方便拆装的密封组件。

背景技术

首先请参阅图1，图1表示现有密封组件10装设于第一构件20的鸠尾槽22(dovetail groove)内部的示意图。如图1所示，传统的现有密封组件10例如为O形环(O-ring)，所述第一构件20则例如为半导体制程设备中的制程腔室的壁体或闸门(gatedoor)，其中因为鸠尾槽22具有下宽上窄的结构特征，所以当欲装设密封组件10于鸠尾槽22的内部时，必须要将其由上朝下直接塞入鸠尾槽22内。应了解的是，由于密封组件10在安装后会受到压迫而固定在鸠尾槽22的底部，且其顶端会凸出于第一构件20的连接面21，如此一来便可透过密封组件10而使第一构件20和与其对接的第二构件(未图示)彼此密合。

然而，因为此种现有密封组件10的截面呈圆形，在使用过程中容易与对接的第二构件在开阖的相对运动过程中产生扭转现象(如图1中箭头方向所示)，尤其导致密封组件10可能因为此扭转现象产生破裂，从而严重地影响到密封效果。

接着请参阅图2，图2表示另一现有的密封组件10’装设于第一构件20的鸠尾槽22内部的示意图。如图2所示，另一种形式的密封组件10’虽然不具圆形截面而于作动时不容易发生扭转，由于其形状大致对应于鸠尾槽22(下宽上窄)，因此会大幅提高密封组件10’在安装与拆卸时的困难度(干涉严重)。

有鉴于此，如何能提供一种可方便拆装且不易发生扭转的密封机构始成为重要的课题。

实用新型内容

有鉴于前述现有问题点，本实用新型的实施例提供一种密封组件，其中所述密封组件设置于第一构件的鸠尾槽(dovetail groove)内部中，用以使所述第一构件与第二构件结合。需特别说明的是，所述鸠尾槽具有底面以及开口，所述开口于第一轴向上具有第一宽度，所述底面于所述第一轴向上具有第二宽度，其中所述第二宽度大于所述第一宽度。

在一实施例中，所述密封组件包括第一密封组件以及第二密封组件，其中第一密封组件设置于所述鸠尾槽的所述底面上，所述第二密封组件设置于所述第一密封组件上并凸出所述开口，其中所述第二密封组件具有凹陷部，且所述第一密封组件位于所述凹陷部内。

在一实施例中，所述第二密封组件还具有两个延伸部，位于所述凹陷部的相反侧，且所述延伸部接触所述鸠尾槽的所述底面，其中所述第一密封组件夹设于所述些延伸部之间。

在一实施例中，所述第一密封组件的硬度大于或等于所述第二密封组件的硬度。

在一实施例中，所述密封组件中的第一密封组件具有聚四氟乙烯材质。

在一实施例中，所述密封组件中的第二密封组件具有橡胶材质。

在一实施例中，所述密封组件中的第一密封组件具有圆形或多边形截面。

在一实施例中，所述密封组件中的第一密封组件于所述第一轴向上具有第三宽度，其中所述第三宽度介于所述第二宽度的0.1～0.6倍之间。在一实施例中，第一密封组件在所述第一轴向上具有第三宽度，其中该第三宽度为该第二宽度的0.25～0.35倍。

在一实施例中，所述鸠尾槽在第二轴向上具有一深度，且所述第一密封组件在所述第二轴向上具有一高度。需特别说明的是，所述第二轴向垂直于所述第一轴向，且所述高度介于所述深度的0.2～0.7倍之间。