[实用新型]一种料盒有效

专利信息
申请号: 201920639954.5 申请日: 2019-05-07
公开(公告)号: CN210000905U 公开(公告)日: 2020-01-31
发明(设计)人: 林生财;张成安;韦日文 申请(专利权)人: 深圳市矽电半导体设备有限公司
主分类号: B65D85/30 分类号: B65D85/30;B65G49/07
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 延伸部 片部 晶圆片 料盒 取片 本实用新型 对置
【权利要求书】:

1.一种用于放置晶圆片的料盒,其特征在于:所述料盒(100)包括,

置片部(21),用于放置晶圆片;

延伸部(22);

安装部(23),用于连接于设备,实现对料盒(100)的安装;

所述延伸部(22)连接于置片部(21),延伸部(22)连接于安装部(23),使所述安装部(23)和置片部(21)之间具有延伸部(22)产生的取片空间(221),延伸部(22)产生的取片空间(221)用于实现对置片部(21)靠近安装部(23)的最近晶圆片进行取片操作。

2.根据权利要求1所述的用于放置晶圆片的料盒,其特征在于:所述安装部(23)设置有连接横梁(231),通过所述连接横梁(231)将所述料盒(100)连接于设备。

3.根据权利要求2所述的用于放置晶圆片的料盒,其特征在于:所述连接横梁(231)设置有1个或多个定位孔(2311)。

4.根据权利要求3所述的用于放置晶圆片的料盒,其特征在于:所述定位孔(2311)为一个,所述定位孔(2311)为多边形孔。

5.根据权利要求3所述的用于放置晶圆片的料盒,其特征在于:所述定位孔(2311)为多个,所述定位孔(2311)为圆孔。

6.根据权利要求3所述的用于放置晶圆片的料盒,其特征在于:所述安装部(23)设置有第一止转凸起(2312)和第二止转凸起(2313),通过所述第一止转凸起(2312)和第二止转凸起(2313)沿相反的旋转方向阻挡于设备上的凸块。

7.根据权利要求1所述的用于放置晶圆片的料盒,其特征在于:所述置片部(21)包括第一槽板(211)、第二槽板(212)和连接部(213);

所述第一槽板(211)设置有多个置片槽,所述第二槽板(212)设置有多个置片槽,所述第一槽板(211)与所述第二槽板(212)通过连接部(213)连接,所述第一槽板(211)上的任意一个置片槽对应于第二槽板(212)上的一个置片槽。

8.根据权利要求7所述的用于放置晶圆片的料盒,其特征在于:所述连接部(213)远离安装部(23)。

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