[实用新型]一种料盒有效
申请号: | 201920639954.5 | 申请日: | 2019-05-07 |
公开(公告)号: | CN210000905U | 公开(公告)日: | 2020-01-31 |
发明(设计)人: | 林生财;张成安;韦日文 | 申请(专利权)人: | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
主分类号: | B65D85/30 | 分类号: | B65D85/30;B65G49/07 |
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地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 延伸部 片部 晶圆片 料盒 取片 本实用新型 对置 | ||
1.一种用于放置晶圆片的料盒,其特征在于:所述料盒(100)包括,
置片部(21),用于放置晶圆片;
延伸部(22);
安装部(23),用于连接于设备,实现对料盒(100)的安装;
所述延伸部(22)连接于置片部(21),延伸部(22)连接于安装部(23),使所述安装部(23)和置片部(21)之间具有延伸部(22)产生的取片空间(221),延伸部(22)产生的取片空间(221)用于实现对置片部(21)靠近安装部(23)的最近晶圆片进行取片操作。
2.根据权利要求1所述的用于放置晶圆片的料盒,其特征在于:所述安装部(23)设置有连接横梁(231),通过所述连接横梁(231)将所述料盒(100)连接于设备。
3.根据权利要求2所述的用于放置晶圆片的料盒,其特征在于:所述连接横梁(231)设置有1个或多个定位孔(2311)。
4.根据权利要求3所述的用于放置晶圆片的料盒,其特征在于:所述定位孔(2311)为一个,所述定位孔(2311)为多边形孔。
5.根据权利要求3所述的用于放置晶圆片的料盒,其特征在于:所述定位孔(2311)为多个,所述定位孔(2311)为圆孔。
6.根据权利要求3所述的用于放置晶圆片的料盒,其特征在于:所述安装部(23)设置有第一止转凸起(2312)和第二止转凸起(2313),通过所述第一止转凸起(2312)和第二止转凸起(2313)沿相反的旋转方向阻挡于设备上的凸块。
7.根据权利要求1所述的用于放置晶圆片的料盒,其特征在于:所述置片部(21)包括第一槽板(211)、第二槽板(212)和连接部(213);
所述第一槽板(211)设置有多个置片槽,所述第二槽板(212)设置有多个置片槽,所述第一槽板(211)与所述第二槽板(212)通过连接部(213)连接,所述第一槽板(211)上的任意一个置片槽对应于第二槽板(212)上的一个置片槽。
8.根据权利要求7所述的用于放置晶圆片的料盒,其特征在于:所述连接部(213)远离安装部(23)。
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