[实用新型]激光二极管芯粒测试承载部及应用其的测试设备有效
申请号: | 201920641024.3 | 申请日: | 2019-05-07 |
公开(公告)号: | CN210109153U | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 王胜利;杨波 | 申请(专利权)人: | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 二极 管芯 测试 承载 应用 设备 | ||
1.一种激光二极管芯粒测试承载部,其特征在于:所述测试承载部(100)包括运动载料部(20)和第一调节部(30),所述运动载料部(20)与第一调节部(30)连接;
所述运动载料部(20)设置有真空吸附孔,所述真空吸附孔能够将激光二极管芯粒吸附;
所述第一调节部(30)设置有直角内边框调节块(31),所述直角内边框调节块(31)能够相对于激光二极管芯粒运动,使激光二极管芯粒沿垂直于真空吸附方向运动并沿直角边适配。
2.根据权利要求1所述的激光二极管芯粒测试承载部,其特征在于:所述第一调节部(30)还包括,
升降调节部(32),所述直角内边框调节块(31)通过气缸与升降调节部(32)连接,使直角内边框调节块(31)能够相对于升降调节部(32)进行升降运动;
第一水平调节部(33),滑动连接于升降调节部(32);
第二水平调节部(34),滑动连接于第一水平调节部(33);第一水平调节部(33)相对于第二水平调节部(34)的运动方向垂直于升降调节部(32)相对于第一水平调节部(33)的运动方向。
3.根据权利要求1所述的激光二极管芯粒测试承载部,其特征在于:所述直角内边框调节块(31)包括矩形内孔,激光二极管芯粒能够容纳于所述矩形内孔。
4.根据权利要求1所述的激光二极管芯粒测试承载部,其特征在于:所述运动载料部(20)包括基体(21)和运动部(22),所述运动部(22)运动连接于基体(21),所述运动部(22)上设置有真空吸附孔。
5.根据权利要求4所述的激光二极管芯粒测试承载部,其特征在于:所述运动部(22)旋转连接于所述基体(21)。
6.根据权利要求4所述的激光二极管芯粒测试承载部,其特征在于:所述运动部(22)滑动连接于所述基体(21)。
7.根据权利要求4所述的激光二极管芯粒测试承载部,其特征在于:所述运动载料部(20)还包括吸附块(23);
所述吸附块(23)连接于运动部(22),所述吸附块(23)设置有真空吸附孔。
8.根据权利要求5所述的激光二极管芯粒测试承载部,其特征在于:所述运动部(22)设置有多个真空吸附孔,所述多个真空吸附孔沿运动部(22)旋转轴均匀分布。
9.根据权利要求1所述的激光二极管芯粒测试承载部,其特征在于:所述运动载料部(20)旋转轴平行于竖直方向。
10.一种激光二极管芯粒测试设备,其特征在于:所述激光二极管芯粒测试设备包括权利要求1-9任意一项所述的激光二极管芯粒测试承载部。
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