[实用新型]芯粒分选结构有效
申请号: | 201920642685.8 | 申请日: | 2019-05-07 |
公开(公告)号: | CN210098299U | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 吴贵阳;刘兴波;王胜利 | 申请(专利权)人: | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
主分类号: | B07C5/36 | 分类号: | B07C5/36;B07C5/342 |
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地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 分选 结构 | ||
1.一种芯粒分选结构,其特征在于:所述芯粒分选结构(100)包括,
第一光源(20);
第一掩膜部(30),能够调整透光位置,使第一光源(20)照射的光能够穿过;
第二光源(40);
第二掩膜部(50),位于第一掩膜部(30)背离第一光源(20)的一侧,且第一掩膜部(30)与第二掩膜部(50)之间设置有置膜空间(60);第二掩膜部(50)能够调整透光位置,使第二光源(40)照射的光能够穿过;在分选芯粒区域,第一掩膜部(30)透光位置正对应第二掩膜部(50)不透光位置,第一掩膜部(30)不透光正对应第二掩膜部(50)透光位置。
2.根据权利要求1所述的芯粒分选结构,其特征在于:
所述芯粒分选结构(100)还包括,
第一固定膜(71),待分选芯粒粘附在第一固定膜(71),第一固定膜(71)为UV膜;
第二固定膜(72),用于粘附分选的芯粒;第二固定膜(72)为UV膜;
第一光源(20)和第二光源(40)均为UV光源;
芯粒位于第一固定膜(71)和第二固定膜(72)之间,所述第一固定膜(71)和第二固定膜(72)位于置膜空间(60)。
3.根据权利要求2所述的芯粒分选结构,其特征在于:
所述芯粒分选结构(100)还包括视觉系统(80)和板光源装置(90),所述板光源装置(90)能够伸展至第一固定膜(71)和第二固定膜(72)之间;所述视觉系统(80)用于观察分选后的第一固定膜(71)。
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