[实用新型]芯粒分选结构有效

专利信息
申请号: 201920642685.8 申请日: 2019-05-07
公开(公告)号: CN210098299U 公开(公告)日: 2020-02-21
发明(设计)人: 吴贵阳;刘兴波;王胜利 申请(专利权)人: 深圳市矽电半导体设备有限公司
主分类号: B07C5/36 分类号: B07C5/36;B07C5/342
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 分选 结构
【权利要求书】:

1.一种芯粒分选结构,其特征在于:所述芯粒分选结构(100)包括,

第一光源(20);

第一掩膜部(30),能够调整透光位置,使第一光源(20)照射的光能够穿过;

第二光源(40);

第二掩膜部(50),位于第一掩膜部(30)背离第一光源(20)的一侧,且第一掩膜部(30)与第二掩膜部(50)之间设置有置膜空间(60);第二掩膜部(50)能够调整透光位置,使第二光源(40)照射的光能够穿过;在分选芯粒区域,第一掩膜部(30)透光位置正对应第二掩膜部(50)不透光位置,第一掩膜部(30)不透光正对应第二掩膜部(50)透光位置。

2.根据权利要求1所述的芯粒分选结构,其特征在于:

所述芯粒分选结构(100)还包括,

第一固定膜(71),待分选芯粒粘附在第一固定膜(71),第一固定膜(71)为UV膜;

第二固定膜(72),用于粘附分选的芯粒;第二固定膜(72)为UV膜;

第一光源(20)和第二光源(40)均为UV光源;

芯粒位于第一固定膜(71)和第二固定膜(72)之间,所述第一固定膜(71)和第二固定膜(72)位于置膜空间(60)。

3.根据权利要求2所述的芯粒分选结构,其特征在于:

所述芯粒分选结构(100)还包括视觉系统(80)和板光源装置(90),所述板光源装置(90)能够伸展至第一固定膜(71)和第二固定膜(72)之间;所述视觉系统(80)用于观察分选后的第一固定膜(71)。

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