[实用新型]一种安装工具有效
| 申请号： | 201920652370.1 | 申请日： | 2019-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN209571401U | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 魏远哲;刘焰平 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/67;B25B11/00;B23P19/00 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 环形架 安装工具 钩挂 本实用新型 静电吸盘 安装孔 挂钩 半导体制造技术 周向均匀设置 环形凸缘 分气盘 聚合物 同一面 电极 均布 刻蚀 良率 同向 外沿 制程 | ||
1.一种安装工具，用于静电吸盘的安装，其特征在于，所述安装工具包括：
一环形架，所述环形架上设有多个安装孔，多个所述安装孔沿所述环形架的周向设置；
多个挂钩，均布于所述环形架的周向外侧，所述挂钩包括钩挂部，所述多个挂钩的所述钩挂部朝向所述环形架的同一面；
一环形凸缘，设置于所述环形架的与所述钩挂部同向的一面的外沿。
2.根据权利要求1所述的安装工具，其特征在于，所述挂钩包括突出部，所述突出部一端自所述环形架的周向外侧径向伸出，另一端连接所述钩挂部。
3.根据权利要求2所述的安装工具，其特征在于，所述钩挂部包括垂直部及水平部；
所述垂直部的一端连接所述突出部，另一端连接所述水平部；
所述水平部一端连接所述垂直部远离所述突出部的一端，并向所述环形架方向延伸。
4.根据权利要求3所述的安装工具，其特征在于，所述水平部的长度与所述突出部长度相同。
5.根据权利要求4所述的安装工具，其特征在于，所述水平部朝向所述环形架的一端具有第一弧面，所述第一弧面与所述环形架外周面延伸形成的柱面适配；
所述水平部背向所述环形架的一端具有第二弧面。
6.根据权利要求3至5中任一项所述的安装工具，其特征在于，所述水平部设置有与所述环形架周向同心的弧形孔。
7.根据权利要求6所述的安装工具，其特征在于，所述安装工具用于将所述静电吸盘安装到一腔体，所述弧形孔的位置及尺寸与所述腔体内的定位销位置及尺寸适配。
8.根据权利要求3所述的安装工具，其特征在于，所述挂钩设置有三个。
9.根据权利要求1所述的安装工具，其特征在于，所述静电吸盘包括分气盘，所述环形凸缘的内径与所述分气盘适配。
10.根据权利要求5所述的安装工具，其特征在于，所述静电吸盘包括圆环形的上电极，所述环形凸缘的外径与所述上电极的内径适配。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
