[实用新型]一种电镀机台腔体结构及电镀机台有效
申请号: | 201920657232.2 | 申请日: | 2019-05-08 |
公开(公告)号: | CN210012914U | 公开(公告)日: | 2020-02-04 |
发明(设计)人: | 秦杰;王金岗;薛超;林宗贤 | 申请(专利权)人: | 德淮半导体有限公司 |
主分类号: | C25D7/12 | 分类号: | C25D7/12;C25D3/38;C25D17/02;C25D21/00 |
代理公司: | 31295 上海思捷知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王宏婧 |
地址: | 223300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电镀 机台 隔膜 腔体结构 腔体本体 本实用新型 金属阳极 驱动组件 轴向往复移动 边缘位置 边缘效应 封闭结构 金属薄膜 晶圆表面 平行设置 有效减少 均匀性 阳离子 沉积 阻挡 驱动 | ||
1.一种电镀机台腔体结构,其特征在于,包括腔体本体;
所述腔体本体内设有隔膜和金属阳极,所述隔膜和所述金属阳极平行设置;
所述隔膜与至少一组驱动组件相连,所述驱动组件用于驱动所述隔膜沿所述腔体本体的轴向往复移动;
所述隔膜远离其中心的边缘位置为能够阻挡阳离子通过的封闭结构。
2.如权利要求1所述的电镀机台腔体结构,其特征在于,所述驱动组件包括相连的驱动部件和传动部件,所述驱动部件通过所述传动部件驱动所述隔膜沿所述腔体本体的轴向往复移动。
3.如权利要求2所述的电镀机台腔体结构,其特征在于,所述驱动部件为马达,所述传动部件包括齿轮和升降杆,所述升降杆沿其轴向设有用于与所述齿轮相啮合的齿条,所述齿轮与所述驱动部件的输出轴相连,所述升降杆的一端与所述隔膜相连。
4.如权利要求3所述的电镀机台腔体结构,其特征在于,所述驱动部件的输出轴与所述腔体本体的连接处设有密封件。
5.如权利要求1所述的电镀机台腔体结构,其特征在于,所述隔膜远离其中心的边缘位置的上表面或/和下表面设有第一挡板。
6.如权利要求1所述的电镀机台腔体结构,其特征在于,所述隔膜靠近所述金属阳极的一端连有至少一弹性支撑件,所述弹性支撑件的一端与所述隔膜连接,另一端固定。
7.如权利要求1所述的电镀机台腔体结构,其特征在于,所述腔体本体内还设有绝缘环,所述绝缘环位于所述隔膜和所述金属阳极之间并固定于所述腔体本体的内壁上。
8.如权利要求1所述的电镀机台腔体结构,其特征在于,所述腔体本体内还设有高电阻虚拟阳极,所述高电阻虚拟阳极与所述隔膜平行设置并固定于所述腔体本体的内壁上,所述隔膜位于所述高电阻虚拟阳极和所述金属阳极之间。
9.如权利要求8所述的电镀机台腔体结构,其特征在于,所述隔膜的中央位置为能够阻挡阳离子通过的封闭结构。
10.如权利要求9所述的电镀机台腔体结构,其特征在于,所述隔膜的中央位置的上表面或/和下表面设有第二挡板。
11.一种电镀机台,其特征在于,包括权利要求1至10中任一项所述的腔体结构。
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