[实用新型]一种适用于废气处理设备的顶盖降温装置

说明书

本实用新型公开了一种适用于废气处理设备的顶盖降温装置，涉及半导体行业废气处理设备技术领域，包括反应腔顶盖，所述反应腔顶盖下端设有连接槽，本实用新型结构简单，制造简单，实用性高，通过在反应腔顶盖和反应腔腔体之间设计一个隔热棉，使得反应腔顶盖和反应腔腔体之间有一个夹层，达到初步隔热降温的目的，再通过给反应腔顶盖通压缩空气，压缩空气从夹层中间部位流入至反应腔腔体内，带走反应腔顶盖的热量，从而使反应腔顶盖温度降低，解决现有技术中高温度的反应腔腔体通过热传导造成反应腔顶盖因温度过高导致的设备器件损坏和对人员的烫伤等危害、存在较大安全隐患的缺陷。

技术领域

本实用新型涉及半导体行业废气处理设备技术领域，具体涉及一种适用于废气处理设备的顶盖降温装置。

背景技术

半导体制程中产生的废气，半导体厂商会使用废气处理设备来处理废气，这些废气中有些需要高温反应，针对于高温反应的废气处理设备，高温度的反应腔腔体通过热传导造成顶盖温度升高，如果不作处理，容易造成设备器件损坏和对人员的烫伤等危害，存在较大的安全隐患，现有高温处理的废气设备中，有些反应腔顶盖通过粘贴防烫危险标志等处理方式，不能从根源上解决反应腔温度高的问题。

因此，需要一款适用于高温反应的废气处理设备顶盖降温装置，带走顶盖的热量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种适用于废气处理设备的顶盖降温装置，以解决现有技术中高温度的反应腔腔体通过热传导造成顶盖温度升高，容易造成设备器件损坏和对人员的烫伤等危害、存在较大安全隐患的缺陷。

一种适用于废气处理设备的顶盖降温装置，包括反应腔顶盖，所述反应腔顶盖下端设有连接槽，所述连接槽上端开有数个螺钉孔用以螺钉连接废气处理设的反应腔腔体，所述反应腔顶盖下端还安装有能给反应腔顶盖降温的隔热装置以及设有安装隔热装置的安装槽。

优选的，所述隔热装置包括安装于安装槽下端的隔热棉固定环，所述隔热棉固定环底端安装隔热棉固定板，所述隔热棉固定环内放置隔热棉。

优选的，所述隔热装置还包括空冷系统，所述空冷系统包括设于反应腔顶盖上的压缩空气进入口，所述压缩空气进入口一端通过进气管连接车间压缩空气，另一端通至隔热棉固定环内，所述热棉固定板底端开有数个气孔。

优选的，所述隔热棉上设有数个通气孔洞。

优选的，所述隔热棉固定环外套接隔热环，所述隔热环的翻边部位位于连接槽与废气处理设备反应腔腔体之间。

本实用新型的优点在于：结构简单，制造简单，实用性高，通过在反应腔顶盖和反应腔腔体之间设计一个隔热棉，使得反应腔顶盖和反应腔腔体之间有一个夹层，达到初步隔热降温的目的，再通过给反应腔顶盖通压缩空气，压缩空气从夹层中间部位流入至反应腔腔体内，带走反应腔顶盖的热量，从而使反应腔顶盖温度降低，解决现有技术中高温度的反应腔腔体通过热传导造成反应腔顶盖因温度过高导致的设备器件损坏和对人员的烫伤等危害、存在较大安全隐患的缺陷。

附图说明

图1、2为本实用新型不同视角的结构示意图。

图3为本实用新型中隔热环的结构示意图。

图4为本实用新型未安装隔热环的结构示意图。

图5为本实用新型未安装隔热环与隔热棉固定板的结构示意图。

图6为本实用新型中反应腔顶盖与隔热棉固定环的连接示意图。

图7为本实用新型中反应腔顶盖的结构示意图。

其中，1-反应腔顶盖，2-连接槽，3-隔热装置，4-安装槽，5-隔热棉固定环，6-隔热棉固定板，7-隔热棉，8-压缩空气进入口，9-进气管，10-气孔，11-隔热环。

具体实施方式